带参考气室的双光电探测器制造技术

本技术提供了一种带参考气室的双光电探测器，包括：壳体，以及设置在壳体内部的主路探测器、参考探测器、分光组件和密封一定浓度待测目标气体的参考气室；壳体上部设置有用于透射检测激光的窗口镜；主路探测器对应窗口镜设置，以接收透射的检测激光，输出用于气体浓度探测的电信号；分光组件用于将检测激光分光出参考检测激光并照射到参考气室；参考探测器对应参考气室设置，以接收经过参考气室吸收后的参考检测激光，输出用于激光器波长校准的电信号。本技术将主路光电探测器、参考气室和参考光电探测器耦合在一个壳体内部，使主路探测器、参考气室和参考探测器处于同一个物理环境，降低外界环境等因素的影响，进一步提高系统的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体激光气体检测，具体涉及一种带参考气室的双光电探测器。

技术介绍

1、可调谐半导体激光吸收光谱技术（tunable diode laser absorptionspectroscopy，简称tdlas）利用可调谐半导体激光器的窄线宽和波长随注入电流改变的特性实现对气体分子的“指纹”吸收线进行测量。通过对气体吸收后的光进行分析，准确得出待测气体的种类、浓度等物理参数，属于高分辨率吸收光谱技术。

2、为了实现精确、精准测量，激光器波长必须覆盖待测气体的吸收波长。激光器因受电路噪声、外界环境等因素的影响，激光器的波长会发生漂移，光功率发生变化，导致测量结果有误差。目前，采用密封一定浓度待测目标气体的参考气室和参考光电探测器来实现波长校准，具体方法为用分光器件（如分光镜或光纤分路器）将激光束分光，一束光经过主路气室照射到主路光电探测器实现气体浓度检测，另一束光经过参考气室照射到参考光电探测器来实现激光器波长校准。通过锁相放大技术提取出的谐波信号，经差分算法数据处理，可消除光功率变化、外界环境等因素引起的测量误差。但是系统所选用器件多为分离本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种带参考气室的双光电探测器，其特征在于，包括：壳体，以及设置在所述壳体内部的主路探测器、参考探测器、分光组件和密封一定浓度待测目标气体的参考气室；

2.根据权利要求1所述的带参考气室的双光电探测器，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的带参考气室的双光电探测器，其特征在于：

4.根据权利要求2所述的带参考气室的双光电探测器，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的带参考气室的双光电探测器，其特征在于：所述主路探测器的热沉和所述参考探测器的热沉为同一热沉。

6.一种带参考气室的双光电探测器，其特征在于，包括：壳体，以及设置在所...

【技术特征摘要】

1.一种带参考气室的双光电探测器，其特征在于，包括：壳体，以及设置在所述壳体内部的主路探测器、参考探测器、分光组件和密封一定浓度待测目标气体的参考气室；

2.根据权利要求1所述的带参考气室的双光电探测器，其特征在于：

3.根据权利要求2所述的带参考气室的双光电探测器，其特征在于：

4.根据权利要求2所述的带参考气室的双光电探测器，其特征在于：

5.根据权利要求4所述的带参考气室的双光电探测器，其特征在于：所述主路探测器的热沉和所述参考探测器的热沉为同一热沉。

【专利技术属性】
技术研发人员：陈海永，贾林涛，杨承霖，肖锋，闫猛超，贾永涛，崔江波，吴玉强，
申请(专利权)人：汉威科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：