半导体器件的测试探针台制造技术

本技术公开一种半导体器件的测试探针台，包括底座、设置于底座上的测试载盘和位于测试载盘上方的探针头，所述底座上表面并位于测试载盘的外侧开设有一环形凹槽，此环形凹槽内嵌入安装有一可绕环形凹槽的中心转动的环形板，所述环形板的下表面上开设有若干个沿周向等间隔设置的容置槽，每个所述容置槽内可转动地安装有一齿轮，所述环形凹槽的底面上开设有一沿全周向延伸的安装槽，此安装槽内固定安装有一分别与若干个所述齿轮啮合的齿环，至少一个所述齿轮与一驱动组件传动连接。本技术可以对探针头进行旋转调节以满足对测试载盘上待测试产品的多点位测试且无需反复调整待测试产品的位置。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体器件封装领域，具体为一种半导体器件的测试探针台。

技术介绍

1、探针台是半导体行业重要的检测装备之一，其广泛应用于复杂、 高速器件的精密电气测量，旨在确保器件质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。随着行业的发展，被测器件的种类越来越多，要求也越来越复杂，探针台的功能必须有相应的提升，在此基础上，测试效率也是不可忽视的重要因素。现有测试探针组件通过多组固定位置的探针头对器件的不同方向进行探针测试，但是现有的探针头的位置固定，则需要调节被测器件的方向，在调节器件方向过程中需要使器件旋转则容易产生位置偏移，则需要进行重新位置校准，影响了测试的效率。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种半导体器件的测试探针台，该半导体器件的测试探针台可以对测试载盘上待测试产品的多点位测试且无需反复调整待测试产品的位置，提高测试的效率和精度。

2、为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种半导体器件的测试探针台，包括：底座、设置于底座上的测试载盘和位于测试载盘上方的探针头，所述底座上表面并本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体器件的测试探针台，包括：底座（1）、设置于底座（1）上的测试载盘（2）和位于测试载盘（2）上方的探针头（4），其特征在于：所述底座（1）上表面并位于测试载盘（2）的外侧开设有一环形凹槽（301），此环形凹槽（301）内嵌入安装有一可绕环形凹槽（301）的中心转动的环形板（302），所述环形板（302）的下表面上开设有若干个沿周向等间隔设置的容置槽（309），每个所述容置槽（309）内可转动地安装有一齿轮（303），所述环形凹槽（301）的底面上开设有一沿全周向延伸的安装槽（305），所述安装槽（305）内固定安装有一分别与若干个所述齿轮（303）啮合的齿环（306），至少一...

【技术特征摘要】

1.一种半导体器件的测试探针台，包括：底座（1）、设置于底座（1）上的测试载盘（2）和位于测试载盘（2）上方的探针头（4），其特征在于：所述底座（1）上表面并位于测试载盘（2）的外侧开设有一环形凹槽（301），此环形凹槽（301）内嵌入安装有一可绕环形凹槽（301）的中心转动的环形板（302），所述环形板（302）的下表面上开设有若干个沿周向等间隔设置的容置槽（309），每个所述容置槽（309）内可转动地安装有一齿轮（303），所述环形凹槽（301）的底面上开设有一沿全周向延伸的安装槽（305），所述安装槽（305）内固定安装有一分别与若干个所述齿轮（303）啮合的齿环（306），至少一个所述齿轮（303）与一驱动组件（304）传动连接，所述探针...

【专利技术属性】
技术研发人员：周伟，郑轩志，
申请(专利权)人：深圳市赢合智慧科技有限公司，
类型：新型
国别省市：