X射线聚焦与波长选择制造技术

X射线光学器件，包括：(i)消色差准直光学器件，适于对输入X射线束进行准直以提供准直X射线束；(ii)可调节衍射单元，适于：(a)接收准直X射线束，同时根据与从不同波长中选择出的当前波长相关联的当前配置进行配置，该当前配置是从与不同波长相关联的不同配置中选择出的；以及(b)对准直X射线束进行滤波以提供当前波长的滤波准直X射线束；以及(iii)消色差聚焦光学器件，被配置成对滤波准直X射线束进行聚焦以提供聚焦滤波X射线束。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

技术介绍

1、在半导体计量环境中，x射线计量一般需要小占地面积的x射线传输和聚焦系统。由于fab空间成本高昂，许多利用同步辐射(sr)、自由电子激光器(fel)的国家实验室所采用的高亮度x射线源不仅操作成本过高，而且尺寸过大而无法用于计量和检测。

2、其他更具可扩展性的高亮度x射线源包括电子束诱导气体或固体等离子体源、电子束从固体靶生成的x射线(轫致辐射的荧光)、电子束/液态金属射流源。一些选定的具有代表性的计量应用包括x射线散射(xrs)、x射线衍射(xrd)、小角x射线散射(saxs)、x射线荧光(xrf)、全反射x射线荧光(txrf)以及x射线光电子能谱(xps)。这些应用中的每一者均需要不同的激发x射线能量(波长)范围，并且因此需要不同的聚焦或准直系统，以及x射线能量带宽的差异。

3、这些系统不灵活。

4、提供更灵活的系统的需求不断增长。

技术实现思路

【技术保护点】

1.一种X射线光学器件，包括：

2.根据权利要求1所述的X射线光学器件，其中，所述可调节衍射单元包括与所述不同波长相关联的不同衍射元件。

3.根据权利要求2所述的X射线光学器件，其中，所述不同衍射元件呈现出不同晶格间距。

4.根据权利要求2所述的X射线光学器件，其中，所述不同衍射元件表现出不同组成。

5.根据权利要求2所述的X射线光学器件，其中，所述不同衍射元件是与所述不同波长相关联的不同平面光栅。

6.根据权利要求2所述的X射线光学器件，其中，所述不同衍射元件以线性阵列布置，并且其中，配置单元被配置成将所述不同衍射元件中的一者...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种x射线光学器件，包括：

2.根据权利要求1所述的x射线光学器件，其中，所述可调节衍射单元包括与所述不同波长相关联的不同衍射元件。

3.根据权利要求2所述的x射线光学器件，其中，所述不同衍射元件呈现出不同晶格间距。

4.根据权利要求2所述的x射线光学器件，其中，所述不同衍射元件表现出不同组成。

5.根据权利要求2所述的x射线光学器件，其中，所述不同衍射元件是与所述不同波长相关联的不同平面光栅。

6.根据权利要求2所述的x射线光学器件，其中，所述不同衍射元件以线性阵列布置，并且其中，配置单元被配置成将所述不同衍射元件中的一者移动到所述准直x射线束的路径中。

7.根据权利要求2所述的x射线光学器件，其中，所述不同衍射元件连接到转台，并且其中，配置单元被配置成将所述不同衍射元件中的一者移动到所述准直x射线束的路径中。

8.根据权利要求2所述的x射线光学器件，其中，所述不同衍射元件包括与所述不同波长相关联的不同椭圆体单色器。

9.根据权利要求2所述的x射线光学器件，其中，所述不同衍射元件还包括缩倍光学器件。

10.根据权利要求2所述的x射线光学器件，还包括用于选择所述不同衍射元件中的一者与所述准直x射线束相互作用的配置单元。

11.根据权利要求1所述的x射线光学器件，其中，所述可调节衍射单元包括：

12.根据权利要求11所述的x射线光学器件，其中，所述配置单元被配置成设置所述准直x射线束的光轴、所述滤波准直x射线束的光轴、以及所述消色差准直光学器件或所述消色差聚焦光学器件中的至少一者与所述衍射元件之间的距离。

13.根据权利要求12所述的x射线光学器件，其中，所述配置单元被配置成通过旋转所述消色差准直光学器件来设置所述准直x射线束的光轴，并且通过旋转所述消色差聚焦光学器件来设置所述滤波准直x射线束的光轴，同时保持恒定的源至焦点距离。

14.根据权利要求13所述的x射线光学器件，其中，所述可调节衍射单元包括与所述不同波长相关联的不同衍射元件，其中，所述不同衍射元件包括所述衍射元件，并且其中，所述配置单元还被配置成选择所述衍射元件中的一者与所述准直x射线束相...

【专利技术属性】
技术研发人员：布鲁诺·W·许勒尔，庄国容，希尔达多·德尔加多，
申请(专利权)人：诺威量测设备公司，
类型：发明
国别省市：