【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜机，具体为一种高效节能的真空镀膜机及其镀膜方法。
技术介绍
1、随着工业制造领域对材料表面性能要求的不断提升，真空镀膜技术作为一种能有效改善工件耐磨性、耐腐蚀性、光学性能等特性的关键工艺，已广泛应用于电子、光学、航空航天等多个行业。然而，传统真空镀膜设备普遍存在能耗高、效率低、真空环境维持成本大等问题，制约了其在规模化生产中的可持续应用。
2、如国家授权专利公告号为cn120041789a的专利公开了一种高效节能的真空镀膜机组及方法，真空镀膜机组包括真空镀膜机及位于真空镀膜机进出口端的上卷装置、卸卷装置；真空镀膜机设入口切头剪、焊机、带钢预热腔室、带钢表面清洗及活化腔室、带钢镀膜腔室、镀后冷却腔室、出口剪；上卷装置设两台，并联设于真空镀膜机的进口处，两台上卷装置分设于一真空腔体内，该两真空腔体分别通过一根进口输送管道连通于真空镀膜机，该两根进口输送管道上分别设有入口隔断阀；卸卷装置设两台，并联设置于真空镀膜机的出口处，两台下卷装置分别设于一真空腔体内，该两真空腔体分别通过一根出口输送管道连通于真空镀膜机...
【技术保护点】
1.一种高效节能的真空镀膜机，其特征在于，包括机壳（1），所述机壳（1）内固定安装有两组密封板（110），两组所述密封板（110）将机壳（1）分隔为左半部和右半部，所述机壳（1）右半部被两组密封板（110）封隔成密封腔（4），所述机壳（1）的左半部中分别固定安装有粗抽泵（107）和高真空泵（108），所述粗抽泵（107）和高真空泵（108）的抽气端贯穿其中一组密封板（110）并位于密封腔（4）中；
2.根据权利要求1所述的一种高效节能的真空镀膜机，其特征在于，所述机壳（1）的右半部一端固定安装有安装箱（106），所述安装箱（106）内固定安装有冷却机构（3...
【技术特征摘要】
1.一种高效节能的真空镀膜机，其特征在于，包括机壳（1），所述机壳（1）内固定安装有两组密封板（110），两组所述密封板（110）将机壳（1）分隔为左半部和右半部，所述机壳（1）右半部被两组密封板（110）封隔成密封腔（4），所述机壳（1）的左半部中分别固定安装有粗抽泵（107）和高真空泵（108），所述粗抽泵（107）和高真空泵（108）的抽气端贯穿其中一组密封板（110）并位于密封腔（4）中；
2.根据权利要求1所述的一种高效节能的真空镀膜机，其特征在于，所述机壳（1）的右半部一端固定安装有安装箱（106），所述安装箱（106）内固定安装有冷却机构（3），所述冷却机构（3）的冷却端固定安装在内嵌槽（113）内且与密封板（110）的表面平齐，所述内嵌槽（113）呈内嵌式开设于其中一组密封板（110）一端；
3.根据权利要求2所述的一种高效节能的真空镀膜机，其特征在于，所述顶盖（104）与红外聚焦加热器（109）之间固定安装有折叠密封垫（105），所述折叠密封垫（105）的下表面滑贴于机壳（1）的上表面处。
4.根据权利要求3所述的一种高效节能的真空镀膜机，其特征在于，所述镀膜机构（2）包括连接架（201），所述连接架（201）固定安装在两组密封板（110）之间且位于密封腔（4）内，所述连接架（201）的两端均固定安装有导轨杆（202）和第一电动推杆（203），两组所述第一电动推杆（203）之间呈交错式相对分布且活塞杆的上表面固定安装有第一隔温板（204），所述第一隔温板（204）的另外两个角滑动安装在导轨杆（202）的外表面处，所述第一隔温板（204）密封滑动于密封腔（4）内与连接架（201）的外表面处。
5.根据权利要求4所述的一种高效节能的真空镀膜机，其特征在于，所述第一隔温板（204）的上表面固定安装有两组导轨板（205），两组所述导轨板（205）内一端固定安装有第一连接盘（206），所述第一连接盘（206）的一端转动安装有夹盘（207），所述夹盘（207）与另一组夹盘（207）平齐相对，另一...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵中红，张晓东，赵中明，
申请(专利权)人：江苏驰诚真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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