【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆片质量检测，尤其是涉及一种高效的晶圆片质量检测装置。
技术介绍
1、晶圆片是晶圆棒通过专门的切割设备切割完成的产品，晶圆片作为芯片制作的原材料，在进行电路的光刻之前，需要对晶圆片的质量进行检测筛选，避免制作的芯片不合格。
2、现有的质量检测装置在进行流水式多工位同步检测上存在不足，整体的检测效率有待提高。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种高效的晶圆片质量检测装置能进行流水式多工位同步检测操作，检测效率高。
2、为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：
3、一种高效的晶圆片质量检测装置，包括支撑架，所述支撑架的上端固定安装有皮带输送机，两个所述皮带输送机之间设置有基台，且基台的上表面上固定安装有直线模组，所述直线模组的移动端固定连接有联动座，所述联动座的对称侧表面上分别固定连接有一个承托板，所述承托板的上表面上固定安装有称重传感器，所述称重传感器的检测端固定连接有称重座。
4、通过采用上述技术方案，可以通过称重来检测晶圆...
【技术保护点】
1.一种高效的晶圆片质量检测装置，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)的上端固定安装有皮带输送机(2)，两个所述皮带输送机(2)之间设置有基台，且基台的上表面上固定安装有直线模组(4)，所述直线模组(4)的移动端固定连接有联动座(7)，所述联动座(7)的对称侧表面上分别固定连接有一个承托板(8)，所述承托板(8)的上表面上固定安装有称重传感器(9)，所述称重传感器(9)的检测端固定连接有称重座(10)。
2.根据权利要求1所述的一种高效的晶圆片质量检测装置，其特征在于：所述皮带输送机(2)的外表面上固定安装有多个移动座(3)。
3.根...
【技术特征摘要】
1.一种高效的晶圆片质量检测装置，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)的上端固定安装有皮带输送机(2)，两个所述皮带输送机(2)之间设置有基台，且基台的上表面上固定安装有直线模组(4)，所述直线模组(4)的移动端固定连接有联动座(7)，所述联动座(7)的对称侧表面上分别固定连接有一个承托板(8)，所述承托板(8)的上表面上固定安装有称重传感器(9)，所述称重传感器(9)的检测端固定连接有称重座(10)。
2.根据权利要求1所述的一种高效的晶圆片质量检测装置，其特征在于：所述皮带输送机(2)的外表面上固定安装有多个移动座(3)。
3.根据权利要求2所述的一种高效的晶圆片质量检测装置，其特征在于：所述移动座(3)的一侧边和称重座(10)的上端均呈梳齿状，且移...
【专利技术属性】
技术研发人员：惠洁，李硕硕，张永帅，胡浩，顾云龙，
申请(专利权)人：视拓苏州工业自动化有限公司，
类型：新型
国别省市：
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