一种陶瓷-金属复合的高可靠性石英挠性加速度计表芯吊装结构制造技术

本发明专利技术涉及一种陶瓷‑金属复合的高可靠性石英挠性加速度计表芯吊装结构，包括石英挠性加速度计壳体及通过支撑环和陶瓷隔离环安装于石英挠性加速度计壳体内的敏感表芯；所述支撑环为具有弹性结构的金属支撑环，支撑环呈圆环形，圆环形开设一缺口，支撑环与敏感表芯连接时，支撑环的缺口可以起到调节尺寸的作用；陶瓷隔离环与支撑环通过台阶结构相互配合，起到增加粘接结构可靠性和强度的目的。本发明专利技术降低了传统结构的工艺复杂度，增强了对敏感表芯的固定能力，增强了加速度计失准角的稳定性，增强了加速度计抗冲击和变形的能力，使得石英挠性加速度计的生产效率和可靠性大幅提升。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及传感器，具体涉及一种陶瓷-金属复合的高可靠性石英挠性加速度计表芯吊装结构。

技术介绍

1、石英挠性加速度计是一种测量加速度的高精度传感器，是惯性系统的重要部件，最早由美国森德斯坦公司于二十世纪七十年代研制成功。现有的石英挠性加速度计采用的吊装结构如图1所示,包括壳体、隔离环和敏感表芯，其中敏感表芯包含有敏感元件和导磁环部件，敏感表芯是加速度计的核心部件，起到保护和密封作用的壳体与敏感表芯通过隔离环连接，隔离环起到绝缘的作用，通过胶接方式加以固定，形成石英挠性加速度计。

2、现有加速度计，隔离环是圆环结构，通过胶粘剂连接表芯和壳体；或者直接用胶粘剂将表芯和壳体连接，存在以下问题：

3、1、隔离环一般由金属材料制作，并做绝缘氧化处理。装配过程中，磕碰等因素容易造成绝缘氧化层脱落，令加速度计不绝缘。

4、2、传统隔离环胶接结构，在敏感轴方向上，只凭借胶粘剂连接，壳体没有对表芯的支撑，失准角极易发生变化；同时处在气压变化、剧烈振动、大冲击等特殊环境时，加速度计的可靠性较差。

5、加速度计的输出方程为：<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种陶瓷-金属复合的高可靠性石英挠性加速度计表芯吊装结构，其特征在于：包括石英挠性加速度计壳体(201)及通过支撑环(202)和陶瓷隔离环(204)安装于石英挠性加速度计壳体(201)内的敏感表芯(104)；

2.根据权利要求1所述的陶瓷-金属复合的高可靠性石英挠性加速度计表芯吊装结构，其特征在于：所述石英挠性加速度计壳体(201)内壁置有与陶瓷隔离环(204)的L型台阶一相匹配的L型台阶二。

3.根据权利要求1所述的陶瓷-金属复合的高可靠性石英挠性加速度计表芯吊装结构，其特征在于：所述支撑环(202)与敏感表芯(104)的导磁环通过焊接固定连接。

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【技术特征摘要】

1.一种陶瓷-金属复合的高可靠性石英挠性加速度计表芯吊装结构，其特征在于：包括石英挠性加速度计壳体(201)及通过支撑环(202)和陶瓷隔离环(204)安装于石英挠性加速度计壳体(201)内的敏感表芯(104)；

2.根据权利要求1所述的陶瓷-金属复合的高可靠性石英挠性加速度计表芯吊装结构，其特征在于：所述石英挠性加速度计壳体(201)内壁置有与陶瓷隔离环(204)的l型台阶一相匹配的l型台阶二。

3.根据权利要求1所述的陶瓷-金属复合的高可靠性石英挠性加速度计表芯吊装结构，其特征在于：所述支撑环(202)与敏感表芯(104)的导磁环通过焊接...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔粲，吴萌萌，肖乾，聂鲁燕，闫冬杰，张志涛，赵丙权，
申请(专利权)人：中国船舶集团有限公司第七〇七研究所，
类型：发明
国别省市：

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