【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅单晶制备，尤其是涉及一种连续拉晶装置。
技术介绍
1、连续拉晶技术实现了加料、熔化和拉制单晶过程同时进行，可以节省加料和熔化的时间。在连续拉晶技术的拉晶过程中，如果不及时添加硅料，坩埚内的硅液量会随着拉晶棒长的增加而减少；为保证坩埚内的硅液界面高度不变，实现连续拉晶，必须连续不断地往坩埚中添加硅料，硅料的添加量还必须与晶棒的生长量保持一致。
2、目前连续拉晶工艺加料普遍采用的是加料桶和加料管，加料管的一端与加料桶连接，另一端与坩埚连接；在加料桶中安装有抖动装置，需要添加的硅料在抖动装置的震动作用下从加料桶中滑落，经过加料管后进入拉晶炉坩埚内，实现连续加料。理论上，加料量会与抖动装置的抖动幅度有关，抖动幅度越大，单位时间内加入的硅料重量越多。实际使用过程中，由于硅料的自然堆积，加料速率并不能保持稳定，有时候在抖动幅度较小的情况下，较小的颗粒料会突然塌陷，导致加料量突然增大，短时间内大量低温硅料的加入会影响坩埚内的热平衡，进而对拉晶质量造成负面影响。另外，目前的加料方案，通过加料管直接连接坩埚，对于硅料没有预热处理，...
【技术保护点】
1.一种连续拉晶装置，包括：加料桶(100)、加料管(200)、导流筒(300)和坩埚(400)；所述导流筒(300)和所述加料桶(100)均安装于所述坩埚(400)的上方，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的连续拉晶装置，其特征在于，所述电磁阀(111)与颗粒硅料接触的区域设置为非金属材料。
3.根据权利要求1所述的连续拉晶装置，其特征在于，所述出料管(110)还安装有固体流量计(112)，所述电磁阀(111)和所述固体流量计(112)间隔设置且信号连接。
4.根据权利要求3所述的连续拉晶装置，其特征在于，沿颗粒硅料在所述出料管...
【技术特征摘要】
1.一种连续拉晶装置，包括：加料桶(100)、加料管(200)、导流筒(300)和坩埚(400)；所述导流筒(300)和所述加料桶(100)均安装于所述坩埚(400)的上方，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的连续拉晶装置，其特征在于，所述电磁阀(111)与颗粒硅料接触的区域设置为非金属材料。
3.根据权利要求1所述的连续拉晶装置，其特征在于，所述出料管(110)还安装有固体流量计(112)，所述电磁阀(111)和所述固体流量计(112)间隔设置且信号连接。
4.根据权利要求3所述的连续拉晶装置，其特征在于，沿颗粒硅料在所述出料管(110)内的流动方向，所述固体流量计(112)位于所述电磁阀(111)的下游。
5.根据权利要求4所述的连续拉晶装置，其特征在于，所述连续拉晶装置还...
【专利技术属性】
技术研发人员：王进，翟传鑫，赵伟强，黎晓丰，
申请(专利权)人：宁夏华晟新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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