一种还原炉多通道炉温测温仪制造技术

本技术公开了一种还原炉多通道炉温测温仪，包括还原炉主体，还原炉主体顶部位置设置有炉顶，还原炉主体底部位置处设置有底盘，底盘内部阵列设置有硅芯棒，还原炉主体外侧中间设置有中控屏，底盘上方位置处设置有第一导流筒，第一导流筒外侧位置处设置有第二导流筒，第二导流筒外侧位置处设置有第三导流筒，在还原炉的如炉顶、尾气孔、炉壁、底盘及导流筒外侧安装了多个温度传感器，可以实现对整个炉体内部温度的全面监控，这种多点测温可以提供更精确的温度数据，有助于掌握炉内的温度分布情况，中控屏实时显示温度趋势，操作人员可以即时获得炉内各个区域的温度数据，这有助于快速发现和调整温度异常，提高炉温控制的灵活性和精确度。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于还原炉相关，具体涉及一种还原炉多通道炉温测温仪。

技术介绍

1、在多晶硅生产过程中，还原炉是主要设备，而还原炉内气体的温度与浓度的均匀分布对多晶硅生成的质量好坏起到至关重要的作用，在还原炉工作过程中，sihcl3和h2等工艺气体经进气管进入炉体内发生还原反应，得到电子级多晶硅棒。

2、但是现有的还原炉内测温点较少，导致生产过程中还原炉内温度不均匀，难得出炉内温度分布情况，影响多晶硅的质量和生产效率。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种还原炉多通道炉温测温仪，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的还原炉内测温点较少，导致生产过程中还原炉内温度不均匀，难得出炉内温度分布情况，影响多晶硅的质量和生产效率的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种还原炉多通道炉温测温仪，包括还原炉主体；

3、所述还原炉主体顶部位置设置有炉顶，所述炉顶顶部中间位置处设置有拆卸件，所述拆卸件左侧位置处设置有尾气孔，所述还原炉主体内侧位置处设置有炉壁，所述还原炉主体底部位置处设本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种还原炉多通道炉温测温仪，包括还原炉主体（1）；

2.根据权利要求1所述的一种还原炉多通道炉温测温仪，其特征在于：所述炉顶（3）内部位置处设置有温度传感器（4），所述尾气孔（6）内侧位置处设置有温度传感器（4）。

3.根据权利要求2所述的一种还原炉多通道炉温测温仪，其特征在于：所述炉壁（12）内部阵列设置有温度传感器（4），所述底盘（7）内部位置处阵列设置有温度传感器（4），所述第一导流筒（18）及第二导流筒（11）外侧位置处阵列设置有温度传感器（4）。

4.根据权利要求3所述的一种还原炉多通道炉温测温仪，其特征在于：所述温度传感器（4）与中控屏...

【技术特征摘要】

1.一种还原炉多通道炉温测温仪，包括还原炉主体（1）；

2.根据权利要求1所述的一种还原炉多通道炉温测温仪，其特征在于：所述炉顶（3）内部位置处设置有温度传感器（4），所述尾气孔（6）内侧位置处设置有温度传感器（4）。

3.根据权利要求2所述的一种还原炉多通道炉温测温仪，其特征在于：所述炉壁（12）内部阵列设置有温度传感器（4），所述底盘（7）内部位置处阵列设置有温度传感器（4），所述第一导流筒（18）及第二导流筒（11）外侧位置处阵列设置有温度传感器（4）。

4.根据权利要求3所述的一种还原炉多通道炉温测温仪，其特征在于：所述温度传感器（4）与中控屏（2）通过导线连接，所述中控屏（2）实时显示温度趋势。

5.根据权利要求1所述的一种还原炉多通道炉温测温仪，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨昊，于金禄，陈建宇，国栋，丁军博，
申请(专利权)人：弘元能源科技包头有限公司，
类型：新型
国别省市：