【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜，具体为一种柔性基材的真空镀膜设备及真空镀膜方法。
技术介绍
1、随着柔性屏幕相关技术的不断发展，折叠屏手机高速迭代，已经成为目前各大手机厂商高端产品的代表。折叠屏手机屏幕的最外层，通常使用无色聚酰亚胺薄膜或超薄玻璃作为柔性基板，但是，柔性基材的缺点也很明显，就是其硬度、耐磨和抗划伤能力较差，对此，通过真空镀膜技术，可有效解决上述问题。其中，磁控溅射镀膜是通过在真空环境中施加电磁场，使氩离子轰击固态靶材表面，溅射出的靶材原子沉积至工件形成薄膜的物理气相沉积技术。
2、公开号为cn115058698b公开了一种卷绕式真空镀膜机，其
技术介绍
中提出的问题为：现有的卷绕镀膜机，在对薄膜进行放卷和收卷时，易造成薄膜的褶皱，导致薄膜的不平整，不利于对薄膜的镀膜处理，且在运行过程中，薄膜受到的拉应力不均衡，容易造成瞬间拉应力过大，造成薄膜损坏。
3、综合现有技术，存在以下问题：
4、现有的柔性基材的真空镀膜设备在展放和收卷柔性基材以进行真空镀膜的过程中，由于柔性基材易发生形变，从而不便于与不同...
【技术保护点】
1.一种柔性基材的真空镀膜设备，包括真空炉，其特征在于，还包括设置在真空炉内且呈竖直排布的镀膜机构、设置在镀膜机构外侧用于卷展柔性基材的卷绕机构和设置在卷绕机构远离镀膜机构一侧的升降机构，镀膜机构包括：
2.根据权利要求1所述的一种柔性基材的真空镀膜设备，其特征在于，所述第一引导组件包括：
3.根据权利要求1所述的一种柔性基材的真空镀膜设备，其特征在于，所述第一镀膜组件和第二镀膜组件相同，且相向设置，以分别从柔性基材的内侧和外侧对其进行镀膜，所述第二镀膜组件包括：
4.根据权利要求3所述的一种柔性基材的真空镀膜设备，其特征在于，所述...
【技术特征摘要】
1.一种柔性基材的真空镀膜设备，包括真空炉，其特征在于，还包括设置在真空炉内且呈竖直排布的镀膜机构、设置在镀膜机构外侧用于卷展柔性基材的卷绕机构和设置在卷绕机构远离镀膜机构一侧的升降机构，镀膜机构包括：
2.根据权利要求1所述的一种柔性基材的真空镀膜设备，其特征在于，所述第一引导组件包括：
3.根据权利要求1所述的一种柔性基材的真空镀膜设备，其特征在于，所述第一镀膜组件和第二镀膜组件相同，且相向设置，以分别从柔性基材的内侧和外侧对其进行镀膜，所述第二镀膜组件包括：
4.根据权利要求3所述的一种柔性基材的真空镀膜设备，其特征在于，所述第二镀膜组件还包括：
5.根据权利要求4所述的一种柔性基材的真空镀膜设备，其特征在于，两个所述花键轴传动连接，以使两个花键轴同步转动，所述真空...
【专利技术属性】
技术研发人员：尤俊衡，艾其波，
申请(专利权)人：安徽亦高光电科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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