一种光伏电池多结层叠结构沉积工艺制造技术

本发明专利技术涉及沉积工艺技术领域，具体为一种光伏电池多结层叠结构沉积工艺，包括以下步骤：通过等离子体增强化学气相沉积在柔性聚酰亚胺衬底表面生成厚度50nm非晶氮化硅过渡层；结合MBE与PLD交替生长AlGaAs/GaAs梯度合金层，Al含量0→30%，层厚每级10nm，共5级；通过MOCVD生长p型GaInP层，厚度300nm，通过质量流量控制器动态调节SiH4/DEZn流量比，实现纵向掺杂梯度。本发明专利技术通过技术协同与跨尺度调控，采用柔性衬底预处理与非晶过渡层，梯度缓冲层与应变补偿设计，实现晶格与热膨胀系数的动态适配，引入原位光谱反馈与动态掺杂，优化电流匹配与光谱响应，结合纳米结构与界面原子级缝合，提升光吸收效率与界面稳定性，较传统方案而言具有高效、柔性、低成本的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及沉积工艺，具体为一种光伏电池多结层叠结构沉积工艺。

技术介绍

1、光伏电池层叠结构是一种通过堆叠不同半导体材料层以拓宽光谱吸收范围的设计，每层材料具有特定的带隙能量，分别吸收不同波长的太阳光（如短波、中波、长波），通过协同作用将更多光子转化为电能，从而显著提升电池的整体转换效率，这种结构通常采用多结设计，各子电池通过隧道结或界面工程实现电学互联，最终形成高效的能量收集体系，而沉积工艺是制备层叠结构的核心制造技术，通过物理或化学方法在衬底上逐层生长或沉积半导体材料，其目标在于精确控制每层材料的成分、厚度、结晶质量及界面特性，确保各子电池的光电性能匹配与协同，工艺需解决晶格匹配、应力控制、界面缺陷抑制等关键问题，直接影响电池的效率和可靠性，而且，层叠结构的设计依赖于沉积工艺的实现能力，工艺需将理论上的能带设计转化为实际材料堆叠，例如通过梯度缓冲层缓解晶格失配、通过量子点或超晶格优化光谱吸收，沉积技术的精度决定了各子电池的界面质量、载流子输运效率及结构稳定性，是层叠电池从设计走向应用的核心桥梁；

2、一般的，传统工艺多采用刚性衬底和单一本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光伏电池多结层叠结构沉积工艺，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种光伏电池多结层叠结构沉积工艺，其特征在于，所述步骤S1的实施步骤为：

3.根据权利要求2所述的一种光伏电池多结层叠结构沉积工艺，其特征在于，所述步骤S2的实施步骤为：

4.根据权利要求3所述的一种光伏电池多结层叠结构沉积工艺，其特征在于，所述步骤S3的实施步骤为：

5.根据权利要求4所述的一种光伏电池多结层叠结构沉积工艺，其特征在于，所述步骤S4的实施步骤为：

6.根据权利要求5所述的一种光伏电池多结层叠结构沉积工艺，其特征在于，所述步...

【技术特征摘要】

1.一种光伏电池多结层叠结构沉积工艺，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种光伏电池多结层叠结构沉积工艺，其特征在于，所述步骤s1的实施步骤为：

3.根据权利要求2所述的一种光伏电池多结层叠结构沉积工艺，其特征在于，所述步骤s2的实施步骤为：

4.根据权利要求3所述的一种光伏电池多结层叠结构沉积工艺，其特征在于，所述步骤s3的实施步骤为：

5.根据权利要求4所述的一种光伏电池多结层叠结构沉积工艺，其特征在于，所述步骤s4的实施步骤为：

6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆银川，郭拥晋，黄浩，董志民，
申请(专利权)人：浙江日月光能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：