一种降温装置及退火装置制造方法及图纸

本技术公开了一种降温装置及退火装置，其中，降温装置应用在退火装置中，降温装置包括防护罩，吹风装置以及第一抽气装置；防护罩罩设于退火装置的元器件，所述防护罩开设有贯通的吹风口；吹风装置与所述防护罩的吹风口连接并能够向所述防护罩内吹风，以降低防护罩内温度；第一抽气装置设置于所述退火装置的顶部，所述第一抽气装置与所述退火装置内部连通并用于抽出所述退火装置内的气体，并同时排出所述退火装置内的至少部分热量；所述第一抽气装置可以与外部排气件连接以将所述退火装置内抽出的气体和热量排放至所述排气件内。本技术的降温装置及退火装置用于对退火装置中的元器件进行降温，确保元器件的稳定运行。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及钙钛矿结晶，尤其涉及一种降温装置及退火装置。

技术介绍

1、退火处理用于使钙钛矿薄膜成核结晶，是钙钛矿电池制备过程中的工艺之一。钙钛矿薄膜的退火处理一般在退火装置进行。在对钙钛矿薄膜进行退火处理时，会将钙钛矿薄膜放置于退火装置的退火腔体内，之后通过热板退火工艺等方式均匀加热钙钛矿薄膜，以促进钙钛矿液膜的成核结晶。

2、退火装置中除退火腔体外还会设置电机、气缸等元器件。而退火装置的退火腔体在工作时可能产生热量的外溢，导致退火装置内温度升高，并且随着热量的堆积可能导致元器件的温度过高，进而会影响元器件的运行和使用寿命。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种降温装置及退火装置，用于对退火装置中的元器件进行降温，确保元器件的稳定运行。

2、本技术的目的采用以下技术方案实现：

3、一种退火装置用降温装置，包括：

4、防护罩，罩设于退火装置的元器件，所述防护罩开设有贯通的吹风口；

5、吹风装置，与所述防护罩的吹风口连接并能够向所述防护罩内吹风，以本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种退火装置用降温装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的退火装置用降温装置，其特征在于，所述吹风装置与所述吹风口(11)之间设置有控制阀，所述控制阀用于控制所述吹风装置与所述吹风口(11)的通断。

3.根据权利要求1所述的退火装置用降温装置，其特征在于，所述防护罩(1)开设有贯通的抽气口(12)，所述降温装置还包括与所述抽气口(12)连接的第二抽气装置，所述第二抽气装置用于抽出所述防护罩(1)内部气体。

4.根据权利要求3所述的退火装置用降温装置，其特征在于，所述抽气口(12)和所述吹风口(11)设置在所述防护罩(1)的同一侧，且所述抽...

【技术特征摘要】

1.一种退火装置用降温装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的退火装置用降温装置，其特征在于，所述吹风装置与所述吹风口(11)之间设置有控制阀，所述控制阀用于控制所述吹风装置与所述吹风口(11)的通断。

3.根据权利要求1所述的退火装置用降温装置，其特征在于，所述防护罩(1)开设有贯通的抽气口(12)，所述降温装置还包括与所述抽气口(12)连接的第二抽气装置，所述第二抽气装置用于抽出所述防护罩(1)内部气体。

4.根据权利要求3所述的退火装置用降温装置，其特征在于，所述抽气口(12)和所述吹风口(11)设置在所述防护罩(1)的同一侧，且所述抽气口(12)和所述吹风口(11)贯穿所述防护罩(1)的同一侧壁。

5.根据权利要求3所述的退火装置用降温装置，其特征在于，所述吹风口(11)内设置有吹风接口(111)，所述吹风接口(111)的一部分外凸于所述防护罩(1)并用于与所述吹风装置连接；所述吹风装置为cda吹风装置；

6.根据权利要求1所述的退火装置用...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：苏州材装半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：