感光性树脂组合物、感光干膜及其应用制造技术

本发明专利技术提供了一种感光性树脂组合物、感光干膜及其应用，所述感光性树脂组合物包括碱可溶性树脂、光聚合单体、光引发剂及光敏剂；本发明专利技术的感光性树脂组合物具有优异的感光特性，能够提供优异的分辨率和附着力，曝光时固化均匀，所形成的抗蚀图案端口呈正矩形，侧壁平整，在电镀工序中不易污染电镀液，能够显著提高产品的良品率，延长电镀液使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及感光材料，尤其是涉及一种感光性树脂组合物、感光干膜及其应用。

技术介绍

1、感光性树脂组合物作为关键的图形转移材料被广泛应用在印刷电路板(pcb)、引线框架(lf)及半导体封装(ic)基板制造领域中。其中，感光性树脂组合物通常是涂覆在pet支撑膜表面，烘干后以在其表面紧密贴合一层保护层，诸如聚乙烯薄膜(pe)保护层，也称为感光干膜、干膜抗蚀剂等。在实现图案转移过程时，首先在铜基板上贴合干膜抗蚀剂，用具有一定图案的掩模遮盖于干膜抗蚀剂，进行图形曝光；然后，利用弱碱性水溶液作为显影液去除未曝光部位，再实施蚀刻或电镀处理而形成图形；最后用褪膜液剥离去除干膜固化部分，从而实现图形转移。

2、随着电子器件向着小型化和高密度化发展，对线路的精细度要求不断提升。为了满足精细线路制造的需求，感光性树脂组合物需要具备更高的分辨率。为了提升分辨率，需要在感光性树脂组合物中添加适当的敏化剂。对感光性树脂组合物而言，合适的光引发体系对光敏性、分辨率、生产良率有直接影响。蒽类化合物或蒽衍生物因其独特的结构，在光照作用下能进行二聚反应，从而被光漂白，这种特性本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，其包括碱可溶性树脂、光聚合单体、光引发剂及光敏剂；

2.根据权利要求1所述一种感光性树脂组合物，其特征在于，

3.根据权利要求1所述一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱可溶性树脂为丙烯酸酯共聚物；

4.根据权利要求1所述一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱可溶性树脂的重均分子量为20000～60000，酸值为160～220mg KOH/g，分子量分布为1.0～3.0。

5.根据权利要求1所述一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述光聚合单体包括乙氧基(丙氧基)双酚A二(甲基)丙烯酸酯和A组分；...

【技术特征摘要】

1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，其包括碱可溶性树脂、光聚合单体、光引发剂及光敏剂；

2.根据权利要求1所述一种感光性树脂组合物，其特征在于，

3.根据权利要求1所述一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱可溶性树脂为丙烯酸酯共聚物；

4.根据权利要求1所述一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱可溶性树脂的重均分子量为20000～60000，酸值为160～220mg koh/g，分子量分布为1.0～3.0。

5.根据权利要求1所述一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述光聚合单体包括乙氧基(丙氧基)双酚a二(甲基)丙烯酸酯和a组分；

6.根据权利要求1所述一种感光性树脂组...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖志义，张念琦，毛灿，党泽龑，谭珊，张愫，董万荣，
申请(专利权)人：湖南初源新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：