【技术实现步骤摘要】
本申请属于半导体，尤其涉及一种相机同步触发方法、晶圆检测系统及计算机程序产品。
技术介绍
1、目前半导体行业中相机同步触发设备大多采用扫描成像方式，目前tdi(timedelay integration，时间延迟积分)线阵扫描相机在其行业中应用较为广泛，但不同的工艺对检测设备的性能要求不一样，尤其是有图形检测设备，其检测精度要求更为严格，甚至在百纳米量级，这对图像和运动台的跟随性要求非常高。现有tdi相机的触发原理是根据运动台速度设置tdi相机对应的行频，以实现tdi相机触发。该方式下对运动台扫描轴速度均匀性要求非常高，理论上扫描轴触发间隔要与像素大小完全对应才能一比一还原真实图像，但如果速度均匀性较差的话，扫描轴触发间隔会不固定，会造成生成的图像拉伸或者压缩，从而导致检测出来的缺陷定位出现偏差。
2、现有技术中tdi相机触发技术主要有两种实现方案，分别为tdi内部触发方式和tdi外部触发方式。然而，tdi内部触发方式对运动台的扫描轴速度均匀性要求非常高，只适应于无图形检测或精度要求不高的工艺设备；而tdi外部触发方式则对运...
【技术保护点】
1.一种相机同步触发方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述第一目标位置信息、所述扫描轴在第N-1个目标采样时间点对应的第二目标位置信息以及对应的目标采样时间间隔，计算得到所述扫描轴的运动速度信息，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述第一目标位置信息、像素尺寸参数以及所述第二目标位置信息，计算得到所述扫描轴的运动位置偏差，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述运动位置偏差、所述像素尺寸信息以及所述运动速度信息，计算得到时间延迟积分相机下...
【技术特征摘要】
1.一种相机同步触发方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述第一目标位置信息、所述扫描轴在第n-1个目标采样时间点对应的第二目标位置信息以及对应的目标采样时间间隔，计算得到所述扫描轴的运动速度信息，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述第一目标位置信息、像素尺寸参数以及所述第二目标位置信息，计算得到所述扫描轴的运动位置偏差，包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述运动位置偏差、所述像素尺寸信息以及所述运动速度信息，计算得到时间延迟积分相机下一时刻的脉冲触发时间，包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述获取运动台中的扫描轴在第n个目标采样时间点对应的第一目标位置信息之后，所述方法还包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述获取运动台中的扫描轴在第n个目标采样时间点对应的第一目标位置信息之前，所述方法还包括：
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述基于所述位置补偿表，对所述第一初始位置信息进行补偿，得到所述第一目标位置信息，对所述第二初始位置信息进行补...
【专利技术属性】
技术研发人员：石卓，蒋健君，
申请(专利权)人：北京奥普托科微电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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