【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种光学，尤其涉及一种基于振镜定位的显微共聚焦拉曼光谱仪。
技术介绍
1、拉曼光谱是一种基于拉曼散射现象进行物质研究的光谱技术，其具有无损分析、指纹图谱等特点，正被广泛应用于生物医学、能源材料、药物、在线分析、考古、壁画、玉石鉴定、毒品侦查、食品安全等诸多方面；获取拉曼光谱必不可少的就是拉曼光谱仪。但由于拉曼散射效应相对弱且拉曼谱峰窄，因此对仪器性能提出更高要求。目前市售的科研级拉曼光谱仪大多数依赖于国外进口，价格相对昂贵；且随着拉曼应用场景的拓宽，对设备的灵敏度、便携式、价格等提出新要求。亟需开发具备高性价比、可功能拓展的高灵敏拉曼光谱仪。为此，本专利技术将不同波长的窄线宽激发光源合束，可搭载多个激发波长，结合电动切换滤光片，提升了仪器通用性；采用振镜扫描元件，其具备高精度定位分辨率(如50nm)，实现快速光斑扫描或定位，可满足单点拉曼采谱、多颗粒定位采谱和拉曼化学成像功能。采用低波数滤光片的光路设计，确保了拉曼仪器的低波数性能。谱仪分光模块可配制高精度的光栅转动和波长校准算法，拓宽拉曼光谱的波长覆盖范围；谱仪采用高光通...
【技术保护点】
1.一种基于振镜定位的显微共聚焦拉曼光谱仪，其特征在于，包括：白光显微照明模块、激发光源、振镜扫描元件、拉曼信号激发和收集模块、谱仪分光检测模块、样品位移台和数据采集软件处理模块。
2.根据权利要求1所述的基于振镜定位的显微共聚焦拉曼光谱仪，其特征在于，所述激发光源采用窄线宽激光器，作为拉曼光谱检测的激光光源。所述激发光源可以是单个波长激光器，也可以是多波长合束，用于满足不同样品的测试需求，特别是针对有荧光背景干扰的样品。
3.根据权利要求1所述的基于振镜定位的显微共聚焦拉曼光谱仪，其特征在于，所述白光显微照明模块用于对测试样品进行成像观察。<...
【技术特征摘要】
1.一种基于振镜定位的显微共聚焦拉曼光谱仪，其特征在于，包括：白光显微照明模块、激发光源、振镜扫描元件、拉曼信号激发和收集模块、谱仪分光检测模块、样品位移台和数据采集软件处理模块。
2.根据权利要求1所述的基于振镜定位的显微共聚焦拉曼光谱仪，其特征在于，所述激发光源采用窄线宽激光器，作为拉曼光谱检测的激光光源。所述激发光源可以是单个波长激光器，也可以是多波长合束，用于满足不同样品的测试需求，特别是针对有荧光背景干扰的样品。
3.根据权利要求1所述的基于振镜定位的显微共聚焦拉曼光谱仪，其特征在于，所述白光显微照明模块用于对测试样品进行成像观察。
4.根据权利要求4所述的基于振镜定位的显微共聚焦拉曼光谱仪，其特征在于，所述白光显微成像模块包括led照明光源(13)、透镜(14)、反射镜(15)、半反半透推拉模块(10)、显微物镜(11)、ccd相机(16)。所述led照明光源(13)出射光束通过所述透镜(14)、反射镜(15)、半反半透推拉模块(10)、显微物镜(11)入射至xyz位移样品台(12)的待测样品，所述待测样品的反射光线依次经过所述显微物镜(11)、半反半透模块(10)入射至所述ccd相机(16)装置，以对所述待测样品进行白光显微成像观测。白光照明时，推入光路中，将样品的显微成像呈现在ccd相机上；而在激光测样时，移出光路中，避免对拉曼信号造成损失。
5.根据权利要求要求1所述的基于振镜定位的显微共聚焦拉曼光谱仪，其特征在于，所述拉曼信号激发和收集模块包括激光光源(1)、光学快门(2)、功率衰减器(3)、反射镜(4)、滤光片(5)、振镜(6)、透镜(7)、透镜(8)。激光光源(1)出射激光光束依次通过功率衰减器(3)、反射镜(4)...
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