【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于真空泵，具体地说是一种紧凑型真空泵。
技术介绍
1、真空泵是利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。现有真空泵存在以下技术缺陷：
2、(1)机械轴承依赖油、脂润滑系统，高速运转时摩擦热积聚导致润滑油碳化失效，且润滑介质易通过间隙渗入抽气通道，污染真空腔体；同时，机械轴承因物理接触摩擦与材料强度限制(如滚珠/滚道抗离心变形能力)，其理论极限转速通常低，难以通过单纯提升转速增强抽气效率。
3、(2)传统的磁悬浮涡轮分子泵采用主动式磁悬浮轴承，其体积大，不适合应用于狭窄空间。
4、于2015年9月9日公开、公开号为cn104895808a的专利公开了一种“复合分子泵”，该“复合分子泵”存在以下缺点：
5、(1)抽速低及抽速稳定性差：复合分子泵的抽速与转子转速呈正相关；泵体因轴承摩擦损耗大，导致转速无法提升至理论最优值；并且其内部的气体动力学过程受外界因素影响较大，在不同的工作压力和气体负载条件下，泵的抽速会出现较大波动。
6、(2)...
【技术保护点】
1.一种紧凑型真空泵，包括螺旋级转子(1)、旋涡级转子(3)、旋涡级定子(5)、主轴(7)、电机转子(8)及底座(10)，所述旋涡级定子(5)的一端与底座(10)连接，所述主轴(7)的一端转动安装在底座(10)上、且主轴(7)的一端与电机转子(8)连动，所述主轴(7)的另一端由旋涡级定子(5)的另一端伸出，所述旋涡级转子(3)及螺旋级转子(1)依次套设在主轴(7)的另一端、并与主轴(7)连动；所述旋涡级定子(5)的一端设有螺旋状的旋涡级定子流道，所述旋涡级转子(3)朝向旋涡级定子(5)的一面设有与旋涡级定子流道圈数相同、一一对应的旋涡级转子叶片，所述旋涡级转子叶片伸入...
【技术特征摘要】
1.一种紧凑型真空泵，包括螺旋级转子(1)、旋涡级转子(3)、旋涡级定子(5)、主轴(7)、电机转子(8)及底座(10)，所述旋涡级定子(5)的一端与底座(10)连接，所述主轴(7)的一端转动安装在底座(10)上、且主轴(7)的一端与电机转子(8)连动，所述主轴(7)的另一端由旋涡级定子(5)的另一端伸出，所述旋涡级转子(3)及螺旋级转子(1)依次套设在主轴(7)的另一端、并与主轴(7)连动；所述旋涡级定子(5)的一端设有螺旋状的旋涡级定子流道，所述旋涡级转子(3)朝向旋涡级定子(5)的一面设有与旋涡级定子流道圈数相同、一一对应的旋涡级转子叶片，所述旋涡级转子叶片伸入对应圈的旋涡级定子流道内；其特征在于：还包括一级牵引级定子(2)及二级牵引级定子(4)，所述二级牵引级定子(4)的一端与旋涡级定子(5)固接，所述二级牵引级定子(4)的另一端与一级牵引级定子(2)固接，所述一级牵引级定子(2)包括本体a(15)，所述本体a(15)的中间设有通孔，所述通孔的边缘沿轴向延伸形成套筒a(17)，所述螺旋级转子(1)及旋涡级转子(3)远离旋涡级转子叶片的一端均位于套筒a(17)中，所述本体a(15)朝向二级牵引级定子(4)的一面、在套筒a(17)外围沿圆周方向设有多个呈螺旋状的流道板a(19)，相邻两所述流道板a(19)之间形成一级牵引级定子流道；所述二级牵引级定子(4)包括中间开孔的本体b(20)，所述本体b(20)朝向一级牵引级定子(2)的一面、在开孔外围沿圆周方向设有多个呈螺旋状的流道板b(21)，相邻两所述流道板b(21)之间形成二级牵引级定子流道a，所述本体b(20)朝向旋涡级定子(5)的一面、在开孔外围沿圆周方向设有多个呈螺旋状的流道板c(22)，相邻两所述流道板c(22)之间形成二级牵引级定子流道b。
2.根据权利要求1所述的紧凑型真空泵，其特征在于：所述主轴(7)的一端通过陶瓷球轴承(9)与底座(10)转动连接，所述主轴(7)的另一端通过被动磁县浮轴承(6)与旋涡级定子(5)转动连接。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：刘坤，闫万明，孔祥玲，王冰冰，谢元华，刘云鹏，王桂鹏，郝昌龙，马金梅，张佳崎，
申请(专利权)人：东北大学，
类型：发明
国别省市：
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