【技术实现步骤摘要】
本技术涉及激光转印，具体为一种高效激光转印装置。
技术介绍
1、在电子器件的生产制造领域，激光转印技术具有较广的市场背景。转印技术是将待转印器件从转印基板脱模到另外的基底(如硅片)实现电子器件的制造。
2、现有的激光转印技术，激光波长大多使用近红外波段，相对于短波可见光，激光的衍射极限更大，聚焦后光斑更大，因此在加工较窄的金属栅线时激光能量有浪费；现有的激光转印模板未考虑激光的利用率，因此有部分激光能量因在转印模板上的反射而被浪费掉。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种高效激光转印装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高效激光转印装置，包括：
3、激光器，所述激光器射出的光束为高斯光束；
4、激光扩束器，所述激光扩束器将激光器射出的光束放大；
5、衍射光学元件，所述衍射光学元件将放大后的光束进行整形；
6、激光扫描镜，所述激光扫描镜由二维振镜和场镜组成；
...【技术保护点】
1.一种高效激光转印装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种高效激光转印装置，其特征在于：所述激光器（1）发射的光束波长为400nm-600nm，脉冲宽度为1ns-连续，平均功率为10W-200W，重复频率50kHz-2MHz，光束直径0.5mm-10mm。
3.根据权利要求1所述的一种高效激光转印装置，其特征在于：所述激光扩束器（2）放大倍率为1-5倍，所述激光扩束器（2）放大后的光斑直径为0.5mm-20mm。
4.根据权利要求1所述的一种高效激光转印装置，其特征在于：所述衍射光学元件（3）将光束整形为矩形平顶光束...
【技术特征摘要】
1.一种高效激光转印装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种高效激光转印装置，其特征在于：所述激光器（1）发射的光束波长为400nm-600nm，脉冲宽度为1ns-连续，平均功率为10w-200w，重复频率50khz-2mhz，光束直径0.5mm-10mm。
3.根据权利要求1所述的一种高效激光转印装置，其特征在于：所述激光扩束器（2）放大倍率为1-5倍，所述激光扩束器（2）放大后的光斑直径为0.5mm-20mm。
4.根据权利要求1所述的一种高效激光转印装置，其特征在于：所述衍射光学元件（3）将光束整形为矩形平顶光束，整形后的光束在焦点处...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚勇杰，陈亮，周志鹏，张多多，张世选，
申请(专利权)人：浙江久曜激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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