双光路同步扫描振镜系统技术方案

本发明专利技术涉及光学技术领域，公开一种双光路同步扫描振镜系统，以节约振镜资源并提高效率。系统包括：旋转轴为第一方向的第一振镜；等间隔分立于第一振镜两侧且旋转轴与第一方向正交的第二和第三振镜；第二与第三振镜的旋转轴平行，且第一振镜正反两面的两路入射光反向，并使得第一振镜的正反两面分别同步反射至第二及第三振镜的两段光束反向；第二和第三振镜旋转轴的驱动源共用同一电机或受控于控制主机以相同指令同步控制的两个独立电机，以使得第一、第二和第三振镜在一个联动周期内，在平行于第二振镜和第三振镜两旋转轴的正下方平面上同步形成呈中心旋转对称的两初始位及扫描轮廓，且旋转中心为该平面与第一方向所对应旋转轴线的交点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学，尤其涉及一种双光路同步扫描振镜系统。

技术介绍

1、激光扫描振镜是一种由高速电磁机构驱动的高精度激光光束动态偏转系统，其核心由反射镜片、有限偏转振镜电机、位置传感器及闭环驱控子系统等构成。激光扫描振镜可单轴使用，也可多轴配置以适应不同应用的需求。常见的激光振镜扫描头即二轴振镜，是由x/y轴单轴振镜正交配置，在同步控制系统动态调控下，x/y轴振镜相互配合偏转，通过矢量合成完成二维平面动态光束扫描，从而实现在一定平面空间范围内的激光加工功能。

2、在精密激光标记、精密激光切割、增材制造等一些激光加工应用中，为扩大激光工作幅面，提高生产加工效率，通常采用多激光扫描振镜头同步加工，各扫描振镜头相对独立工作，分别负责在设定区域的扫描加工工作，在结构和光路上通常没有关联。多振镜扫描系统虽然能够拓展加工幅面，通过并行加工的方式提高加工效率，但各扫描振镜的光路都是各自独立的子系统，成本较高。

3、当存在一些需要进行大量重复图形加工的情形，如切割大量等距圆形孔洞、打印智能手表钛合金表壳结构等，这些加工工件不直接连接，不需要搭接，相本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种双光路同步扫描振镜系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的双光路同步扫描振镜系统，其特征在于，所述两扫描轮廓对应同一样品平行于所述第二振镜和所述第三振镜两旋转轴的同一被加工面上的两个不同的曝光区域。

3.根据权利要求1所述的双光路同步扫描振镜系统，其特征在于，所述两扫描轮廓对应两个不同样品的至少两个不同曝光面，或对应同一样品的至少两个不同曝光面。

4.根据权利要求3所述的双光路同步扫描振镜系统，其特征在于，所述第二振镜与相应曝光面之间还部署有对光束执行缩放、分束和/或准直的整形装置。

5.根据权利要求3所述的双光路同步扫描...

【技术特征摘要】

1.一种双光路同步扫描振镜系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的双光路同步扫描振镜系统，其特征在于，所述两扫描轮廓对应同一样品平行于所述第二振镜和所述第三振镜两旋转轴的同一被加工面上的两个不同的曝光区域。

3.根据权利要求1所述的双光路同步扫描振镜系统，其特征在于，所述两扫描轮廓对应两个不同样品的至少两个不同曝光面，或对应同一样品的至少两个不同曝光面。

4.根据权利要求3所述的双光路同步扫描振镜系统，其特征在于，所述第二振镜与相应曝光面之间还部署有对光束...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴葛铭，李晓春，
申请(专利权)人：长沙麓邦光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：