【技术实现步骤摘要】
本公开涉及一种夹具，尤其涉及一种用于固定载板并进行烘烤的夹具。
技术介绍
1、用于固定半导体基板的现有夹具是由承架及夹子所组成。先通过自动化装置打开夹具，再使用托盘将半导体基板放入，然后合上夹具，最后送入烘烤。由于目前生产多采用自动化流水线生产，导致现有夹具的设计多偏向自动化及机器本身，在设备出现故障(例如卡板)、人工上板、测试检验等需要人工的场合时，现有夹具难以手动操作，忽略了人工的可干预性。
2、再者，现有夹具对半导体基板的夹力无法改变，也就是对不同基板的压力皆一致，导致基板容易变形，或无法有效固定基板，从而产生位移，增加基板表面划伤的可能性。
技术实现思路
1、本公开的目的在于提出一种设于用以运送载板的框架上的夹具，以解决上述至少一个问题。
2、本公开提供一种设于用以运送载板的框架上的夹具，包括：第一夹件，固接于该框架，且该第一夹件包含一具有相对的一第一头端及一第一尾端的夹件滑轨；第二夹件，连接该第一夹件，且该第二夹件包含一滑设于该夹件滑轨中的滑块，使该第二夹...
【技术保护点】
1.一种设于用以运送载板的框架上的夹具，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的夹具，其特征在于，该夹具还包含一锁头件，其中，该第一夹件还包含一锁头滑轨，供该锁头件滑设于该锁头滑轨，以借该锁头件于该关闭状态或该打开状态时对该滑块限位。
3.如权利要求2所述的夹具，其特征在于，该夹具还包含一设于该第一夹件并对应于该锁头滑轨的第二弹性件，其中，该锁头滑轨具有相对的一第二头端及一第二尾端，该锁头件位于该第二头端时对该滑块限位且未压缩该第二弹性件，而该锁头件位于该第二尾端时未对该滑块限位且压缩该第二弹性件。
4.如权利要求3所述的夹具，其...
【技术特征摘要】
1.一种设于用以运送载板的框架上的夹具，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的夹具，其特征在于，该夹具还包含一锁头件，其中，该第一夹件还包含一锁头滑轨，供该锁头件滑设于该锁头滑轨，以借该锁头件于该关闭状态或该打开状态时对该滑块限位。
3.如权利要求2所述的夹具，其特征在于，该夹具还包含一设于该第一夹件并对应于该锁头滑轨的第二弹性件，其中，该锁头滑轨具有相对的一第二头端及一第二尾端，该锁头件位于该第二头端时对该滑块限位且未压缩该第二弹性件，而该锁头件位于该第二尾端时未对该滑块限位且压缩该第二弹性件。
4.如权利要求3所述的夹具，其特征在于，该第二弹性件包含一第二外壳、一第二弹簧及一第二支撑板，该第二弹簧及该第二支撑板设于该第二外壳内，该第二外壳呈直筒状并具有一第二开口，该第二支撑板抵接于该第二弹簧的一端并受该第二外壳限位，且该锁头件穿设该第二开口并经由该第二支撑板而压缩该第二弹簧。
5.如权利要求2所述的夹具，其特征在于，该锁头件的末端具有适配结构，以对应该滑块表面。
6.如权利要求1所述的夹具，其特征在于，该夹具还包括一连接于该第二夹件的凸轮及一设于该框架的第三弹性件，其中，该滑块从该关闭状态变换至该打开状态时，该凸轮压缩该第三弹性件，且该滑块从该打开状态变换...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕士威，任义，杨中贤，
申请(专利权)人：芯爱科技南京有限公司，
类型：发明
国别省市：
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