【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体芯片加工配套设备，特别是涉及一种柔性装夹码垛机。
技术介绍
1、芯片是一种其整体十分薄弱并且易碎的薄片，在芯片加工搬运过程需要将码垛后的芯片放入工装盒内进行转移，为防止芯片在工装盒内晃动，工装盒内还具有多个与芯片尺寸相同的放置槽，现有的夹爪只能控制夹取芯片的力度，无法控制夹爪松开的力度，在将的堆叠状态芯片放入工装盒内松开的过程中，夹爪松开的力会导致工装盒内的放置槽受损，在持续使用后会导致工装盒开裂，并且现有的夹爪为刚性夹爪，容易在移动过程中因震动导致芯片损坏，移动过程中因堆叠的芯片也会因震动发生错位，因此，为解决上述问题设计了一种柔性装夹码垛机。
技术实现思路
1、针对现有芯片加工配套设备不足，本技术的目的是提供一种柔性装夹码垛机，具有柔性装夹防止工装盒损坏、夹持后不会脱落、防止堆叠状态的芯片错位等优点。
2、为达到上述目的，本技术采用的一个技术方案是：一种柔性装夹码垛机，包括设备框架、柔性装夹机构和三轴机械臂，所述设备框架顶部设有三轴机械臂，所述三轴机械臂运动...
【技术保护点】
1.一种柔性装夹码垛机，其特征在于，包括设备框架、柔性装夹机构和三轴机械臂，所述设备框架顶部设有三轴机械臂，所述三轴机械臂运动端通过法兰固定连接有柔性装夹机构，所述柔性装夹机构包括定位板、悬浮机械臂、双向夹紧气缸、限位凸块、滑动板、缓冲板、弹簧、调节板和弹力夹板，所述定位板上端面和三轴机械臂运动端法兰固定连接，所述定位板下端面中部设有双向夹紧气缸，所述定位板两侧具有用于安装悬浮机械臂的开口，所述双向夹紧气缸两侧活动端均固定连接有滑动板，所述两滑动板之间设有固定在双向夹紧气缸侧边的限位凸块，所述两滑动板底端面均滑动连接有缓冲板，所述缓冲板滑动方向与滑动板运动方向相同，所...
【技术特征摘要】
1.一种柔性装夹码垛机，其特征在于，包括设备框架、柔性装夹机构和三轴机械臂，所述设备框架顶部设有三轴机械臂，所述三轴机械臂运动端通过法兰固定连接有柔性装夹机构，所述柔性装夹机构包括定位板、悬浮机械臂、双向夹紧气缸、限位凸块、滑动板、缓冲板、弹簧、调节板和弹力夹板，所述定位板上端面和三轴机械臂运动端法兰固定连接，所述定位板下端面中部设有双向夹紧气缸，所述定位板两侧具有用于安装悬浮机械臂的开口，所述双向夹紧气缸两侧活动端均固定连接有滑动板，所述两滑动板之间设有固定在双向夹紧气缸侧边的限位凸块，所述两滑动板底端面均滑动连接有缓冲板，所述缓冲板滑动方向与滑动板运动方向相同，所述缓冲板和限位凸块之间设有弹簧，所述弹簧迫使两侧缓冲板向外张开至极限位置，所述缓冲板底端面设有可调节固定位置的调节板，所述调节板底端面等距离固定有多个弹力夹板，所述双向夹紧气缸夹紧时两侧弹力夹板相互靠近并同时压缩弹簧。
2.根据权利要求1所述的一种柔性装夹码垛机，其特征在于，所述调节板端面具有腰型孔，所述腰型孔用于改变调节板与缓冲板固定位置。
3.根据权利要求1所述的一种柔性装夹码垛机，其特征在于，所述悬浮机械臂包括气缸、安装板、u形板、推板、平面挡板、u形约束架和铰接块，所述安装板以可调节固定位置的方式固定在定位板两侧的开口处，所述气缸伸缩端贯穿安装板并固定连接在安装板顶部，所述u形板开口端和安装板底部固定连接，所述u形板对应气缸伸出位置具有通孔，所述推板滑动连接在u形板上端面，所述推板滑动方向垂直于弹力夹板运动路径，所述推板外端固定连接有向下延伸的平面挡板，所述推板端面对应气缸伸缩端伸出位置还具有斜孔，所述铰接块固定连接在u形板下端面，所述u形约束架开口端和铰接块铰接，所述u形约束架开口端具有横向延伸的驱动块，所述驱动块对应气缸伸缩端伸出位置。
【专利技术属性】
技术研发人员：陈祥贤，
申请(专利权)人：宁波甬洲自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。