一种含氨尾气提纯制超纯氨的工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种含氨尾气提纯制超纯氨的工艺，包括：氨水工段：客户端含氨尾气送入氨水吸收装置，经过一级吸氨塔与二级吸氨塔得到浓度为3～22％的氨水进入工业氨工段；工业氨工段：氨水经预热后进入蒸氨塔得到NH<subgt;3</subgt;≥99.8％的中间产品进入7N超纯氨工段；7N超纯氨工段：工业液氨送入脱轻塔加压分离，轻组分在脱轻塔塔顶聚集，塔底采出含重组分液氨通过压差进入脱重塔，加压分离脱出重组分，脱重塔上部侧方采出超纯氨产品。本发明专利技术通过常压升压再升压降压的梯度压力系统降低能耗；通过回流泵实现循环，提高回收率且获得7N级的超纯氨；回收对象范围拓宽，对于原料氨纯度无要求，降低了成本，减少尾气排放，实现绿色生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气体提纯，具体涉及一种含氨尾气提纯制超纯氨的工艺。

技术介绍

1、随着半导体、led、光伏等高端制造业的快速发展，超高纯氨(≥7n，即纯度≥99.99999％)作为关键电子特气，广泛应用于外延生长、氮化硅沉积等工艺。然而，传统的超纯氨生产主要依赖高纯液氨精馏法，存在能耗高、原料依赖性强、提纯成本昂贵等问题。同时，化工、电子、冶金等行业排放的含氨尾气(如合成氨弛放气、半导体刻蚀废气等)通常仅通过简单吸收处理，回收低附加值的氨水或工业级氨(99％～99.9％)，未能实现高值化利用，造成资源浪费和环保压力。

2、目前，工业上对含氨尾气的处理主要分为吸收法、吸附法、膜分离法、精馏法等，但均存在不同局限性。氨水吸收法，含氨尾气经水喷淋吸收后形成10％～20％的氨水，通常直接作为工业原料或废水处理，该法虽然简单，但产品附加值低，且无法进一步提纯至高纯氨；此外，吸收过程中易夹带co2、h2s等杂质，影响后续精制。工业氨精馏法，部分企业采用蒸氨塔对氨水进行精馏，得到99.9％左右的工业氨，但该工艺存蒸氨塔通常采用常规填料或板式塔，分离效率低，能耗本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种含氨尾气提纯制超纯氨的工艺，其特征在于，包括如下步骤：

2.如权利要求1所述的一种含氨尾气提纯制超纯氨的工艺，其特征在于，所述蒸氨塔配备有蒸氨塔再沸器，所述蒸氨塔再沸器热源由导热油装置提供，所述蒸氨塔再沸器热源为250～300℃；所述蒸氨塔冷凝器的冷源为常温循环水。

3.如权利要求1所述的一种含氨尾气提纯制超纯氨的工艺，其特征在于，所述脱轻塔塔底配备有脱轻塔再沸器，所述脱轻塔再沸器采用50～90℃热水作为热源，为脱轻塔再沸器提供热量；所述脱轻塔冷凝器采用常温循环水作为冷源，为脱轻塔冷凝器提供冷量。

4.如权利要求1所述的一种含氨尾气提纯制超纯氨...

【技术特征摘要】

1.一种含氨尾气提纯制超纯氨的工艺，其特征在于，包括如下步骤：

2.如权利要求1所述的一种含氨尾气提纯制超纯氨的工艺，其特征在于，所述蒸氨塔配备有蒸氨塔再沸器，所述蒸氨塔再沸器热源由导热油装置提供，所述蒸氨塔再沸器热源为250～300℃；所述蒸氨塔冷凝器的冷源为常温循环水。

3.如权利要求1所述的一种含氨尾气提纯制超纯氨的工艺，其特征在于，所述脱轻塔塔底配备有脱轻塔再沸器，所述脱轻塔再沸器采用50～90℃热水作为热源，为脱轻塔再沸器提供热量；所述脱轻塔冷凝器采用常温循环水作为冷源，为脱轻塔冷凝器提供冷量。

4.如权利要求1所述的一种含氨尾气提纯制超纯氨的工艺，其特征在于，所述脱重塔塔底配备有脱重塔再沸器，所述脱重塔再沸器采用50～90℃热水作为热源，为脱重塔再沸器提供热量；所述脱重塔冷凝器采用常温循环水作为冷源，为脱重塔冷凝器提供冷量。

5.如权利要求1所述的一种含氨尾气提纯制超纯氨的工艺，其特征在于，步骤s2中，所述蒸氨塔的塔底有重组分杂质排出，温度至35～50℃排出，所述重组分杂质主要为废水，所述废水中氨...

【专利技术属性】
技术研发人员：宗立冬，李艺，
申请(专利权)人：苏州凛泓材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：