一种防抖动的XY两轴滑台制造技术

本技术公开了一种防抖动的XY两轴滑台，涉及到滑台技术领域，包括：底座和滑动设置于底座上的载板，所述底座的顶面两侧均设置有安装座，所述安装座上均转动设置有第一丝杆，两个所述第一丝杆的轴向相同，两个第一丝杆均与载板螺纹连接；所述底座上还设置有第一驱动机构和同步机构，所述第一驱动机构用于驱动其中一个第一丝杆转动，所述同步机构用于使两个第一丝杆同步转动；本技术通过在底座两侧均设置第一丝杆，并通过同步机构使两个第一丝杆同步转动，由于两个第一丝杆与载板螺纹连接，因此，第一驱动机构驱动两个第一丝杆转动时，从两侧对载板同步施加推力，使载板在底座上运动平稳，降低了载板抖动的情况出现。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及滑台，具体为一种防抖动的xy两轴滑台。

技术介绍

1、目前，在微加工制造行业中高精密对位以及位移技术占据越来越重要的位置，对位技术广泛涉及到半导体装备、网络印刷设备、led或液晶面板制造、光纤对接、微机械电子器件加工封装等行业。为了提高零件加工精度，加快对位效率，相关行业对对位以及位移技术提出了更高的要求，而高精度的对位以及位移技术则依赖于滑台。

2、现有技术中的xy两轴滑台为x轴向运动与y轴向运动堆叠构成，对于需要中空，且工作台面尺寸较大时，驱动x轴向运动和y轴向运动的动力机构均置于工作台一侧，这样就导致工作台面存在一侧离动力机构距离较大，该侧(也就是无动力部分)会因为距离动力机构存在较大距离，在工作过程中产生抖动。

3、有鉴于此，亟需一种防抖动的xy两轴滑台。

技术实现思路

1、针对现有技术中存在的问题，本技术用以下技术结构解决此问题。

2、为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：

3、一种防抖动的xy两轴滑台，包括：底座和滑动设置于底座上的载板，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种防抖动的XY两轴滑台，其特征在于，包括：底座(1)和滑动设置于底座(1)上的载板(2)，所述底座(1)的顶面两侧均设置有安装座(3)，所述安装座(3)上均转动设置有第一丝杆(4)，两个所述第一丝杆(4)的轴向相同，两个第一丝杆(4)均与载板(2)螺纹连接；

2.根据权利要求1所述的一种防抖动的XY两轴滑台，其特征在于：所述第一驱动机构包括第一电机(5)，所述第一电机(5)的输出端与一个第一丝杆(4)同轴连接。

3.根据权利要求2所述的一种防抖动的XY两轴滑台，其特征在于：所述载板(2)的底面两侧均设置有第一连接板(9)，两个所述第一连接板(9)分别与两个第...

【技术特征摘要】

1.一种防抖动的xy两轴滑台，其特征在于，包括：底座(1)和滑动设置于底座(1)上的载板(2)，所述底座(1)的顶面两侧均设置有安装座(3)，所述安装座(3)上均转动设置有第一丝杆(4)，两个所述第一丝杆(4)的轴向相同，两个第一丝杆(4)均与载板(2)螺纹连接；

2.根据权利要求1所述的一种防抖动的xy两轴滑台，其特征在于：所述第一驱动机构包括第一电机(5)，所述第一电机(5)的输出端与一个第一丝杆(4)同轴连接。

3.根据权利要求2所述的一种防抖动的xy两轴滑台，其特征在于：所述载板(2)的底面两侧均设置有第一连接板(9)，两个所述第一连接板(9)分别与两个第一丝杆(4)螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的一种防抖动的xy两轴滑台，其特征在于：所述底座(1)上设置有两个第一滑座(13)，两个所述安装座(3)分别滑动设置于第一滑座(13)的顶面，两个所述第一连接板(9)分别滑动设置于两个安装座(3)上，所述第一连接板(9)相对于安装座(3)的运动方向和安装座(3)相对于第一滑座(13)的运动方向垂直。

5.根据权利要求1所述的一种防抖动的xy两轴滑台，其特征在于：所述同步机构包括链条(6)和两个链轮(7)，两个所述链轮(7)分别同轴设置于两个第一丝杆(4)上，所述链条(6)套设于两...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋筱乐，
申请(专利权)人：无锡瓦力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：