【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子枪，特别是涉及一种电子枪及其装配方法。
技术介绍
1、电子枪是利用高功率微波等手段在谐振腔等类型的加速腔中建立强电场，加速位于加速腔内由阴极发射的电子，并射出电子束的装置。电子枪可用于诸如粒子加速器、电子显微镜、放射治疗等科研、医学多个领域。
2、电子枪老炼是指在电子枪正式使用前，对电子枪进行功率调试和稳定性训练的过程，通过向加速腔内馈入功率等手段，去除加速腔内部水汽、污染物等杂质，减少电子枪使用过程中，因加速腔内出现真空击穿或暗电流等情况，导致电子枪真空度下降，产生的电子束不稳定或失效的问题。
3、然而，现有技术中，电子枪老炼过程中产生的暗电流较高，火花放电现象较多，需耗费较长时间才能完成电子枪的老炼。
4、故如何在保证电子枪具有良好性能的情况下，缩短电子枪的老炼时间成为了本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种电子枪及其装配方法，以在保证电子枪具有良好性能的情况下，缩短电子枪的老炼时间。>
2、为实现上本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种电子枪，其特征在于，所述电子枪包括：
2.根据权利要求1所述的电子枪，其特征在于，所述第一安装区，所述第一密封件和所述阴极在洁净间内进行压装。
3.根据权利要求1所述的电子枪，其特征在于，所述电子枪包括冷却组件，所述冷却组件包括设于所述阴极外侧的第一冷却单元，以及设于所述壳体上的若干个第二冷却单元；
4.根据权利要求3所述的电子枪，其特征在于，位于所述壳体不同区域的所述第二冷却单元可向所述壳体相应区域输出所需温度的第二冷却介质。
5.根据权利要求4所述的电子枪，其特征在于，相邻所述第二冷却单元之间存在间隔；或者，...
【技术特征摘要】
1.一种电子枪，其特征在于，所述电子枪包括：
2.根据权利要求1所述的电子枪，其特征在于，所述第一安装区，所述第一密封件和所述阴极在洁净间内进行压装。
3.根据权利要求1所述的电子枪，其特征在于，所述电子枪包括冷却组件，所述冷却组件包括设于所述阴极外侧的第一冷却单元，以及设于所述壳体上的若干个第二冷却单元；
4.根据权利要求3所述的电子枪，其特征在于，位于所述壳体不同区域的所述第二冷却单元可向所述壳体相应区域输出所需温度的第二冷却介质。
5.根据权利要求4所述的电子枪，其特征在于，相邻所述第二冷却单元之间存在间隔；或者，相邻所述第二冷却单元之间设有隔热件。
6.根据权利要求3-5中任一项所述的电子枪，其特征在于，所述第二冷却单元包括沿所述加速腔...
【专利技术属性】
技术研发人员：许贝贝，金朝，张宁波，
申请(专利权)人：上海夯业真空设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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