一种扫描电子显微镜用送样机构制造技术

本技术公开了一种扫描电子显微镜用送样机构，属于电子显微镜技术领域，其结构包括主机体、样品台、电镜仓、过渡仓以及电动舱门，过渡仓内滑动配合有升降板，且过渡仓侧面固定连通有用于控制升降板竖直升降的传动箱，升降板顶端固定有顶盖，顶盖上贯穿固定有电推杆，电推杆的输出端固定有固定座，固定座一侧固定有背板和驱动板，背板一侧固定有两横板，横板滑动贯穿有两滑杆，滑杆的底端固定有下压板，横板和下压板之间固定有弹簧，驱动板一侧传动连接有两承压板。本技术示例的扫描电子显微镜用送样机构能够实现样品的自动放入或取出，节省了人工操作的步骤，使用起来更便捷。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电子显微镜，具体地说是一种扫描电子显微镜用送样机构。

技术介绍

1、扫描电子显微镜（sem）是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的，目前在使用扫描电子显微镜时，通常需要先将样品放置在样品台上，并将样品台放入过渡仓内，通过过渡仓将推送至电镜仓内。

2、由于电镜仓内部密闭且为真空环境，因此需要在真空环境下放置样品或取出样品，但目前扫描电子显微镜的送样步骤繁琐，操作复杂，需要手动完成送样，不能快速放置或取出样品台，使用起来不够便捷。

技术实现思路

1、为了解决上述现有技术中的不足，本技术的目的在于提供一种扫描电子显微镜用送样机构，该扫描电子显微镜用送样机构能够实现样品的自动放入或取出，节省了人工操作的步骤，使用起来更便捷。

2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案为：

3、提供了一种扫描电子显微镜用送样机构，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种扫描电子显微镜用送样机构，包括主机体（1）和样品台（11），所述主机体（1）内部设有电镜仓（2），所述主机体（1）顶部贯穿固定有过渡仓（5），所述电镜仓（2）内顶部开设有与过渡仓（5）相连通的进料口，所述过渡仓（5）一侧固定连通有真空管（30），所述进料口处设有电动舱门（12），其特征在于，所述过渡仓（5）内滑动配合有升降板（7），且过渡仓（5）侧面固定连通有用于控制升降板（7）竖直升降的传动箱（6），所述升降板（7）顶端固定有顶盖（8），所述顶盖（8）上贯穿固定有电推杆（9），所述电推杆（9）的输出端固定有固定座（10），所述固定座（10）一侧固定有背板（20）和驱动板（25）...

【技术特征摘要】

1.一种扫描电子显微镜用送样机构，包括主机体（1）和样品台（11），所述主机体（1）内部设有电镜仓（2），所述主机体（1）顶部贯穿固定有过渡仓（5），所述电镜仓（2）内顶部开设有与过渡仓（5）相连通的进料口，所述过渡仓（5）一侧固定连通有真空管（30），所述进料口处设有电动舱门（12），其特征在于，所述过渡仓（5）内滑动配合有升降板（7），且过渡仓（5）侧面固定连通有用于控制升降板（7）竖直升降的传动箱（6），所述升降板（7）顶端固定有顶盖（8），所述顶盖（8）上贯穿固定有电推杆（9），所述电推杆（9）的输出端固定有固定座（10），所述固定座（10）一侧固定有背板（20）和驱动板（25），所述背板（20）一侧固定有两横板（21），所述横板（21）滑动贯穿有两滑杆（22），所述滑杆（22）的底端固定有下压板（23），所述横板（21）和下压板（23）之间固定有弹簧（24），所述驱动板（25）一侧传动连接有两承压板（26）；

2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜用送样机构，其特征在于，所述驱动板（25）一侧开设有两滑槽（27），所述承压板（26）一端滑动配合在滑槽（27）内，且滑槽（27）内转动连接有螺纹丝杆b（28），所述螺纹丝杆b（28）两端部分别贯穿两承压板（26）且分别与两承压板（26）螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的扫描电子显微镜用送样机构，其特征在于，所述驱动板（25）一端通过支架固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：党浩然，
申请(专利权)人：山东大千检测有限公司，
类型：新型
国别省市：