一种节能型硅烷生产及提纯系统技术方案

本发明专利技术涉及硅烷生产领域，公开了一种节能型硅烷生产及提纯系统，包括生产单元，用于将三氯氢硅转化为硅烷气和氯硅烷化合物，并对硅烷气和氯硅烷化合物进行初步分离处理。本发明专利技术采用歧化反应精馏的方法，通过压缩机加压后，硅烷气和其他氯硅烷化合物的温度和压力升高，氯硅烷化合物的沸点升高，使得氯硅烷化合物在较高温度下更容易液化，有助于在预冷器中实现更有效的冷凝和分离，而且通过预冷器的冷却作用，部分氯硅烷化合物被冷凝为液态，从而与气态的硅烷气实现初步分离，部分杂质被提前去除，减少了进入硅烷分离塔的杂质含量，提高了分离塔的分离效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及硅烷生产领域，尤其是一种节能型硅烷生产及提纯系统。

技术介绍

1、硅烷气是一种电子特种气体，在光伏、集成电路、显示面板、太阳能电池、薄膜晶体管、先进陶瓷等众多领域有广泛应用。

2、当前，硅烷制备方法包括氟硅法、氯硅法、镁硅法以及锂硅法四种；其中氯硅法（又称歧化法）为主要的生产工艺，又分为两步法和反应精馏法，是指以三氯氢硅为原料，经歧化反应制得硅烷。两步法具有成品纯度高、原材料利用率高等优势，但生产流程较为复杂、反应转化率低、对设备要求较高等缺点。相对于传统的两步法，反应精馏的技术具有反应转化率高、能耗相对较低等优点，可用于大规模生产，但也存在运行能耗高、痕量级杂质成分较多的不足。

3、本专利技术在改进反应精馏工艺的基础上，提升硅烷的产品质量，大幅度降低硅烷生产的运行能耗，减少冷媒的用量，节约资源。

技术实现思路

1、因此，本专利技术所要解决的技术问题在于：硅烷生产的运行能耗较高。

2、上述技术问题通过如下技术方案进行解决：本专利技术提出一种节能型硅烷生产及提纯本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种节能型硅烷生产及提纯系统，其特征在于：包括，

2.根据权利要求1所述的节能型硅烷生产及提纯系统，其特征在于：还包括，

3.根据权利要求2所述的节能型硅烷生产及提纯系统，其特征在于：所述生产单元（200）包括，

4.根据权利要求2或3所述的节能型硅烷生产及提纯系统，其特征在于：所述生产单元（200）还包括，

5.根据权利要求3所述的节能型硅烷生产及提纯系统，其特征在于：所述生产单元（200）还包括，

6.根据权利要求3或5所述的节能型硅烷生产及提纯系统，其特征在于：所述硅烷分离塔（101）的塔釜排出的杂质被回流至硅烷反应塔...

【技术特征摘要】

1.一种节能型硅烷生产及提纯系统，其特征在于：包括，

2.根据权利要求1所述的节能型硅烷生产及提纯系统，其特征在于：还包括，

3.根据权利要求2所述的节能型硅烷生产及提纯系统，其特征在于：所述生产单元（200）包括，

4.根据权利要求2或3所述的节能型硅烷生产及提纯系统，其特征在于：所述生产单元（200）还包括，

5.根据权利要求3所述的节能型硅烷生产及提纯系统，其特征在于：所述生产单元（200）还包括，

6.根据权利要求3或5所述的节能型硅烷生产及提纯系统，其特征在于：所述硅烷分离塔（101）的塔釜排出的杂质被回流至硅烷反应塔（201），以实现物料的循环利用。

7.根据权利要求2、3或5任一所述的节能型硅烷生产及提纯系统，其特征在于：所述提纯单元（300）包括，

8.根据权利要求7所述的节能型硅烷生产及提纯系统，其特征在于：所述提纯单元（300）还包括，

9.根据权利要求3或5所述的节能型硅烷生产及提纯系统，其特征在于：所述提纯单元（300）还包括，

10.根据权利要求7所述的节能型硅烷生产及提纯系统，其特征在于：所述吸附柱（301）填充有吸附剂，所述吸附剂包括但不仅限于活性炭、分子筛、二氧化硅、树脂、沸石或金属氧化物，用于去除硅烷气中的痕量杂质。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：王帅，冯向阳，王建彬，郭蔡民，
申请(专利权)人：安徽湛为气体有限公司，
类型：发明
国别省市：