【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体器件的制造或处理领域，尤其涉及兼容载具和子母环的上料装置。
技术介绍
1、在自动化生产领域中，兼容载具和子母环的上料装置是物料加工系统的重要组成部分，其核心功能在于对物料进行精确定位与固定，并通过移动设备，如可移动吸嘴、机械臂等，将物料输送至下一加工环节。现有技术中，物料通常需预先装载于标准化载具或子母环内，再通过载具或子母环与兼容载具和子母环的上料装置进行机械连接。在生产中，可能是通过载具来料，也可能是通过子母环来料，事先无法进行指定，这就需要兼容载具和子母环的上料装置同时兼容载具来料和子母环来料。传统兼容载具和子母环的上料装置普遍采用螺栓紧固的固定方式：在装置基座上同时设置适配多边形载具的定位孔阵列和适配环状子母环的定位孔阵列，并分别通过螺栓对两者进行锁紧固定。这种设计虽然能够实现载具与子母环的双向兼容，但在实际应用中存在显著缺陷。一方面，换装效率低下，每次切换物料类型时，操作人员需通过工具反复拆装多个固定螺栓；另一方面，操作复杂度高，由于载具与子母环的几何特征差异，其固定螺栓的分布位置和紧固方向各不相同，操作人员需...
【技术保护点】
1.兼容载具和子母环的上料装置，其特征在于，包括设有安装通孔的上料底座和固设于所述上料底座上侧的固定机构，所述固定机构包括限位组件和顶料组件，所述限位组件能够对载具或子母环进行限位，所述顶料组件从一侧顶紧以实现对载具或子母环的固定；
2.如权利要求1所述的兼容载具和子母环的上料装置，其特征在于，所述顶料组件包括顶料座、顶料条、至少一个导向杆和套设在所述导向杆上的弹性部件，所述顶料座与所述上料底座上侧固定连接，所述导向杆的一端固设有限位块，所述导向杆的另一端穿过所述顶料座与所述顶料条固定连接，所述导向杆与所述顶料座滑动连接，所述弹性部件位于所述顶料座与所述顶...
【技术特征摘要】
1.兼容载具和子母环的上料装置，其特征在于，包括设有安装通孔的上料底座和固设于所述上料底座上侧的固定机构，所述固定机构包括限位组件和顶料组件，所述限位组件能够对载具或子母环进行限位，所述顶料组件从一侧顶紧以实现对载具或子母环的固定；
2.如权利要求1所述的兼容载具和子母环的上料装置，其特征在于，所述顶料组件包括顶料座、顶料条、至少一个导向杆和套设在所述导向杆上的弹性部件，所述顶料座与所述上料底座上侧固定连接，所述导向杆的一端固设有限位块，所述导向杆的另一端穿过所述顶料座与所述顶料条固定连接，所述导向杆与所述顶料座滑动连接，所述弹性部件位于所述顶料座与所述顶料条之间，在所述弹性部件的作用下，所述顶料条从一侧进行顶紧以实现对载具或子母环的固定。
3.如权利要求1所述的兼容载具和子母环的上料装置，其特征在于，还包括与所述上料底座固定连接的旋转机构，所述固定机构与所述旋转机构的旋转部固定连接，所述旋转机构能够带动所述固定机构进行旋转。
4.如权利要求3所述的兼容载具和子母环的上料装置，其特征在于，所述旋转机构包括轴承、旋转轮和旋转驱动机构，所述轴承固设于所述安装通孔内，所述旋转轮与所述轴承的内环同轴固定连接，所述旋转驱动机构能够驱动所述旋转轮旋转...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：恩纳基智能装备无锡股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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