一种真空样品室光学移动平台制造技术

本技术提供了一种真空样品室光学移动平台，属于光学检测技术领域。本技术提供的包括真空样品室、顶盖、枪盖组件、高精度比例阀和真空抽气管，打开活动压盖，将检测材料放置在真空样品室内，启动真空泵，真空泵通过抽气管将真空腔进行抽真空，抽真空后真空腔内形成负压状态，从而将活动压盖牢牢的与真空样品室吸紧。控制单元控制高精度比例阀的不同比例的开启或闭合，从而调整真空腔内不同的真空度，以此解决现有技术中真空样品室只能用于杜瓦测试，无法调节真空样品腔内真空度的技术问题，真空腔内还设有X轴移动组件和Y轴移动组件，通过X轴移动组件和Y轴移动组件可以对置物台进行不同位置的移动，方便了工作人员对检测材料多方位的观察。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光学检测，具体涉及一种真空样品室光学移动平台。

技术介绍

1、光学显微镜是一种广泛应用于科学研究和工业领域的工具，用于观察微小物体的细节和结构。在地质学、石油勘探、半导体、材料学和生物医学应用中，一些样品的阴极发光、紫外、红外和x射线研究，需要放置在显微镜物镜下的样品腔内抽真空或通入特定气体，并且还需要进行样品二维平移，以便定位和观察不同区域的样品。但是在光学显微镜下只能观察小部分样品，如果研究大范围的样品结构和特征分布必须关闭真空后再平移样品，打开真空腔移动样品需要开启和关闭真空腔，导致操作效率低下。

技术实现思路

1、本技术实施例提供一种真空样品室光学移动平台，旨在能够解决现有技术中研究大范围样品结构需要反复打开真空腔调整置物台的位置，导致操作效率低下的技术问题。

2、为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：提供一种真空样品室光学移动平台，包括真空样品室、x轴移动单元、y轴位移单元和置物台。x轴位移单元，设于真空腔内，所述x轴位移单元包括x轴丝杠、x轴导轨、x轴传动电机和x轴移动台，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种真空样品室光学移动平台，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种真空样品室光学移动平台，其特征在于，所述Y轴位移组件包括：

3.如权利要求2所述的一种真空样品室光学移动平台，其特征在于，所述X轴移动台为中空框架结构。

4.如权利要求3所述的一种真空样品室光学移动平台，其特征在于，所述置物台底部与所述Y轴导轨滑动配合，所述置物台底部与Y轴丝杠滚动啮合。

5.如权利要求4所述的一种真空样品室光学移动平台，其特征在于，所述X轴移动台与所述X轴导轨滑动配合。

6.如权利要求5所述的一种真空样品室光学移动平台，其特征在于，所...

【技术特征摘要】

1.一种真空样品室光学移动平台，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种真空样品室光学移动平台，其特征在于，所述y轴位移组件包括：

3.如权利要求2所述的一种真空样品室光学移动平台，其特征在于，所述x轴移动台为中空框架结构。

4.如权利要求3所述的一种真空样品室光学移动平台，其特征在于，所述置物台底部与所述y轴导轨滑动配合，所述置物台底部与y轴丝杠滚动啮合。

5.如权利要求4所述的一种真空样品室光学移动平台，其特征在于，所述x轴移...

【专利技术属性】
技术研发人员：范东宇，李阳，田润泽，
申请(专利权)人：北京恒元华建科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：