晶圆装载杯、抛光单元、抛光方法和处理设备技术

本发明专利技术提供一种晶圆装载杯、抛光单元、抛光方法和处理设备，其中，晶圆装载杯包括：基座和清洁部；基座包括晶圆承载部和避让部，晶圆承载部上表面形成有用于支撑晶圆边缘的晶圆承载面，避让部贯穿晶圆承载部并将晶圆承载面中断；清洁部与基座活动设置，清洁部包括清洁头、连接座、支撑杆和驱动装置，清洁头和支撑杆分别、错位固定在连接座的上、下表面，支撑杆和连接座内部具有清洗液路，用于向清洁头供给清洗液；驱动装置推动支撑杆以支撑连接座靠近或远离基座，以使得清洁头的上表面经避让部穿过至高于或低于晶圆承载面。本发明专利技术的装载杯能够在线、原位清洁抛光头，从而提高晶圆处理效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于化学机械抛光，具体而言，涉及一种晶圆装载杯、抛光单元、抛光方法和处理设备。

技术介绍

1、在cmp(化学机械抛光)过程中，抛光液残留在抛光头上，会在抛光头的气膜外圈及边缘位置形成结晶，如果不及时清理，既不利于抛光头的保养维护，也影响cmp的后清洗效果。

技术实现思路

1、有鉴于此，本专利技术提供了一种晶圆装载杯、抛光单元、抛光方法和处理设备，从而解决或者至少缓解了现有技术中存在的上述问题和其他方面的问题中的一个或多个。

2、为了实现前述目的，本专利技术的第一方面提供了一种晶圆装载杯，包括：基座和清洁部；

3、所述基座包括晶圆承载部和避让部，所述晶圆承载部上表面形成有用于支撑晶圆边缘的晶圆承载面，所述避让部贯穿所述晶圆承载部并将所述晶圆承载面中断；

4、所述清洁部与所述基座活动设置，所述清洁部包括清洁头、连接座、支撑杆和驱动装置，所述清洁头和所述支撑杆分别、错位固定在所述连接座的上、下表面，所述支撑杆和所述连接座内部具有清洗液路，用于向所述清洁头供给清洗液；...

【技术保护点】

1.一种晶圆装载杯，其特征在于，包括：基座和清洁部；

2.如权利要求1所述的晶圆装载杯，其特征在于，所述连接座沿装载杯径向设置，所述清洁头安装在所述连接座上表面沿装载杯径向的外侧端，所述支撑杆安装在所述连接座的下表面沿装载杯径向的内侧端；

3.如权利要求2所述的晶圆装载杯，其特征在于，所述清洁头包括刮板、毛刷或挡水条中的一种或多种；所述刮板材料包括PTFE，所述毛刷材料包括PVA，所述挡水条材料包括硅橡胶。

4.如权利要求3所述的晶圆装载杯，其特征在于，所述毛刷为圆柱结构，直径为15mm-25mm，顶面高于所述连接座上表面10-20mm；

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【技术特征摘要】

1.一种晶圆装载杯，其特征在于，包括：基座和清洁部；

2.如权利要求1所述的晶圆装载杯，其特征在于，所述连接座沿装载杯径向设置，所述清洁头安装在所述连接座上表面沿装载杯径向的外侧端，所述支撑杆安装在所述连接座的下表面沿装载杯径向的内侧端；

3.如权利要求2所述的晶圆装载杯，其特征在于，所述清洁头包括刮板、毛刷或挡水条中的一种或多种；所述刮板材料包括ptfe，所述毛刷材料包括pva，所述挡水条材料包括硅橡胶。

4.如权利要求3所述的晶圆装载杯，其特征在于，所述毛刷为圆柱结构，直径为15mm-25mm，顶面高于所述连接座上表面10-20mm；

5.如权利要求4所述的晶圆装载杯，其特征在于，所述连接座上表面向下凹陷以形成毛刷安装位，所述清洗液路从所述毛刷安装位向上突出所述连接座上表面形成出液口，所述出液口位于所述毛刷内部。

6.如权利要求1-5任一项所述的晶圆装载杯，其特征在于，所述基座包括固定座和托架，所述托架安装在所述固定座上，所述晶圆承载部和所述避让部形成在所述托架上，所述晶圆承载面位于远离所述固定座的一侧。

7.如权利要求6所述的晶圆装载杯，其特征在于，所述连接座与所述托架位于所述固定座的同一侧，所述固定座底部设有贯穿孔，所述支撑杆穿过所述贯穿孔并连接供液装置和所述驱动装置，所述供液装置连通并向所述清洗液路供给所述清洗液，所述驱动装置驱动所述支撑杆相对于所述贯穿孔滑动。

8.如权利要求7所述的晶圆装载杯，其特征在于，所述驱动装置包括压力传...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈德乾，王春龙，彭泽明，徐海洋，
申请(专利权)人：华海清科股份有限公司，
类型：发明
国别省市：