一种多通道气体流量控制器制造技术

本发明专利技术属于气体流量控制技术领域，且公开了一种多通道气体流量控制器，包括外壳主体，外壳主体内部安装有进气管，外壳主体的顶端固定有主控模块，主控模块的外部设置有数据接口，通过设置过滤筒、传动件、过滤器等结构的配合，使得装置能够通过按压压杆带动过滤器、高效过滤槽和粗效过滤槽，以及高效过滤槽和粗效过滤槽内部的过滤芯旋转，使其调换位置，当前置滤芯为高效滤芯，后置为粗效滤芯时，高效滤芯直接处理主要目标污染物，确保净化精度达标，当使用压杆切换，前置滤芯为粗效滤芯，后置为高效滤芯时，粗效滤芯可拦截大颗粒污染物，以此来达成便于装置能够根据不同的气体选择不同的过滤方案，提高装置对气体过滤的效果的目的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于气体流量控制，具体是一种多通道气体流量控制器。

技术介绍

1、气体流量控制器在工业生产和高精度实验中扮演着重要角色，尤其在半导体制造和化工领域，对气体流量的精确控制直接影响产品质量和生产效率，目前，单通道气体流量控制器技术已较为成熟，能够实现较高精度的流量控制。然而，随着工业自动化和实验复杂度的提升，多路气体同时控制的需求日益增加，传统的单通道控制器已无法满足现代生产的需求，近年来，多通道气体流量控制器的研发成为热点，但其在集成度、控制精度和响应速度方面仍存在较大提升空间。

2、专利号cn116301072a公开了一种多通道气体流量控制装置，采用多联集成的多种气通气系统性控制装置，多路气体进气端口与混合气通道模块前端面上的进气端口连接，经分配气道分配好的气体流至模块中的每个质量流量控制单元并按需要比例调节分配后可进入到混合气通道模块后端的内部腔体，然后通过腔体的纵向流道出口至后端的电磁自控制模块，该装置接线及管路点位少、集成度高、系统响应时间短，将给使用者带来更优的使用效果，采用多联集成式的模块系统进行多类气体通气量精确分配控制，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种多通道气体流量控制器，包括外壳主体（1），其特征在于：所述外壳主体（1）内部安装有进气管（2），所述进气管（2）的一端设置有过滤机构（3），所述进气管（2）的一端设置有节流机构（5），所述外壳主体（1）的顶端固定有主控模块（9），所述主控模块（9）的外部设置有数据接口（10）；

2.根据权利要求1所述的多通道气体流量控制器，其特征在于：所述过滤器（303）的内部开设有高效过滤槽（304），所述过滤器（303）的内部开设有粗效过滤槽（305），所述过滤筒（301）内部的底端固定有复位弹簧（306），所述复位弹簧（306）的顶端固定有连接件（307），所述连接件（307）...

【技术特征摘要】

1.一种多通道气体流量控制器，包括外壳主体（1），其特征在于：所述外壳主体（1）内部安装有进气管（2），所述进气管（2）的一端设置有过滤机构（3），所述进气管（2）的一端设置有节流机构（5），所述外壳主体（1）的顶端固定有主控模块（9），所述主控模块（9）的外部设置有数据接口（10）；

2.根据权利要求1所述的多通道气体流量控制器，其特征在于：所述过滤器（303）的内部开设有高效过滤槽（304），所述过滤器（303）的内部开设有粗效过滤槽（305），所述过滤筒（301）内部的底端固定有复位弹簧（306），所述复位弹簧（306）的顶端固定有连接件（307），所述连接件（307）的一端固定有拨动杆（308），所述连接件（307）的顶端固定有压杆（309）。

3.根据权利要求1所述的多通道气体流量控制器，其特征在于：所述过滤筒（301）的输入端连通有进气管（2），所述过滤筒（301）的输出端连通有进气管（2），所述传动件（302）的外壁贴合过滤筒（301）的内壁，所述传动件（302）和过滤筒（301）滑动连接。

4.根据权利要求1所述的多通道气体流量控制器，其特征在于：所述过滤器（303）的表面开设有若干组过滤孔，所述过滤孔呈等间距分布，所述过滤器（303）的中轴线固定有一组过滤板，所述过滤板的表面开设有若干组过滤孔。

5.根据权利要求2所述的多通道气体流量控制器，其特征在于：所述高效过滤槽（304）的面积等于粗效过滤槽（305）的面积，所述高效过滤槽（304）和粗效过滤槽（305）关于过滤器（303）的中轴线呈对称分布，所述高效过滤槽（304）和粗效过滤槽（305）分别位于过滤筒（301）与进气管（2）的输入端和输出端。

6.根据权利要求2所述的多通道气体流量控制器，其特征在于：所述复位弹簧（3...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚育军，
申请(专利权)人：北京精量科技有限公司，
类型：发明
国别省市：