一种用于β-SiC精抛抛光液及其制备方法技术

本发明专利技术涉及晶圆表面抛光和化学机械抛光液技术领域，具体涉及一种用于β‑SiC精抛抛光液及其制备方法，所述抛光液包括磨粒、还原剂、增稠剂、抑菌剂、pH调节剂和去离子水；所述还原剂为无机金属盐、多羟基醛中的至少一种；所述pH调节剂为有机糖醛酸；所述抛光液的pH为4‑6。所述制备方法为：将还原剂、增稠剂和pH调节剂加入至适量的去离子水中充分搅拌溶解，而后将溶解后的溶液倒入称量好的磨粒中，最后加入抑菌剂，混合均匀得到所述抛光液。所述抛光液抛光的β‑SiC表面平整度可以达到0.3nm以下，同时还具有不腐蚀设备，简单易清洗、环保以及使用安全性能高等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于β-sic精抛抛光液及其制备方法，属于晶圆表面抛光和化学机械抛光液。

技术介绍

1、目前被确认的sic多型结构已超过200多种，常见的有3c-sic、4h-sic、6h-sic和15r-sic等。其中，唯一具有立方等轴结构的3c-sic也叫立方碳化硅。

2、立方碳化硅又名β-sic，属立方晶系。β-sic莫氏硬度是9.25-9.6，结晶金刚石硬度的10倍，光洁度比金刚石好。β-sic是仅次于金钢石的最硬高性能材料之一，其超高硬度和密度使其可理想地适用于经受高磨损和滑动磨损的部件，适用于各种研磨作用，尤其超精密研磨。β-sic属低温晶型，1800℃可以发生晶型转换。β-sic在高达1600℃以上温度是具有超高的强度和优异的抗蠕变、抗断裂性能。作为半导性材料，β-sic比α-β-sic高几十倍，发电机材料添加后β-sic后会更好，而且耐温好；β-sic比重比大多数合金小一半，为钢的40％，与铝大致相同。

3、β-sic的等轴结构特点决定了该类粉体具有比α-sic更好的自然球度和密堆特性，因而在精密研磨、陶瓷制品等领本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于β-SiC精抛抛光液，其特征在于，所述抛光液包括磨粒、还原剂、增稠剂、抑菌剂、pH调节剂和去离子水；

2.根据权利要求1所述一种用于β-SiC精抛抛光液，其特征在于，所述抛光液中各种组分所占的重量百分比为：磨粒2％-40％；还原剂0.01％-5％；增稠剂0.01％-1％；抑菌剂0.01％-1％；pH调节剂0.1％-2％；余量为去离子水。

3.根据权利要求1所述一种用于β-SiC精抛抛光液，其特征在于，所述磨粒为粒径10nm-150nm的水溶性的二氧化硅溶胶液。

4.根据权利要求1所述一种用于β-SiC精抛抛光液，其特征在于，所述无机金属盐为...

【技术特征摘要】

1.一种用于β-sic精抛抛光液，其特征在于，所述抛光液包括磨粒、还原剂、增稠剂、抑菌剂、ph调节剂和去离子水；

2.根据权利要求1所述一种用于β-sic精抛抛光液，其特征在于，所述抛光液中各种组分所占的重量百分比为：磨粒2％-40％；还原剂0.01％-5％；增稠剂0.01％-1％；抑菌剂0.01％-1％；ph调节剂0.1％-2％；余量为去离子水。

3.根据权利要求1所述一种用于β-sic精抛抛光液，其特征在于，所述磨粒为粒径10nm-150nm的水溶性的二氧化硅溶胶液。

4.根据权利要求1所述一种用于β-sic精抛抛光液，其特征在于，所述无机金属盐为硫代硫酸钠、硫酸亚铁、氯化亚铁、硝酸亚铁及氢氧化亚铁中的至少一种。

5.根据权利要求1所述一种用于β-sic精抛抛光液，其特征在于，所述多羟基醛为葡萄糖、麦芽糖、果糖中的至少一种。

6.根据权利要求1所述一种用...

【专利技术属性】
技术研发人员：张育玮，张辰彬，刘洋，罗光红，
申请(专利权)人：烟台显华高分子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：