【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及洁净室环境监测领域,尤其涉及一种基于cnn-lstm的粒子异常监测系统及监测方法。
技术介绍
1、随着电子工业、航空航天、医疗健康、生物制药等行业对生产环境洁净度要求的不断提高,洁净室作为控制和维持微粒浓度在特定等级标准内的关键设施,其监测与维护已成为行业质量管理的重要环节。洁净室内的温度、湿度、压差等环境参数,以及人员进出、设备运行状态等因素,均可直接或间接地影响室内粒子浓度的动态变化。维持洁净室长期稳定达标,不仅关系到产品质量和实验安全,也决定了运行成本与能耗控制。
2、当前,洁净室粒子浓度异常的诊断主要依赖人工巡检或经验阈值报警。操作人员通过定时采样或目测判断,耗费大量人力、物力,且检测精度与经验水平密切相关,难以实现对突发异常的快速响应与准确定位。为提高监测效率与智能化水平,国内外已提出若干在线监测和自动控制方案,但各自仍存在不同程度的局限:
3、专利公开号cn202256115u公开的“洁净室尘埃粒子在线监控系统”中,方案采用多个光电采样的尘埃粒子计数传感器,并通过光电池供电、无线接入的方
...【技术保护点】
1.一种基于CNN-LSTM的粒子异常监测系统,其特征在于:包括以下模块:
2.根据权利要求1所述的一种基于CNN-LSTM的粒子异常监测系统,其特征在于:数据处理模块具体包括以下步骤:
3.根据权利要求1所述的一种基于CNN-LSTM的粒子异常监测系统,其特征在于:模型构建模块中特征提取层进一步包括使用ReLU激活函数对提取到的特征进行非线性变换,其公式为:
4.根据权利要求1所述的一种基于CNN-LSTM的粒子异常监测系统,其特征在于:模型构建模块中CNN-LSTM神经网络模型具体包括自输入端到输出端依次连接的第一卷积层、第一激
...【技术特征摘要】
1.一种基于cnn-lstm的粒子异常监测系统,其特征在于:包括以下模块:
2.根据权利要求1所述的一种基于cnn-lstm的粒子异常监测系统,其特征在于:数据处理模块具体包括以下步骤:
3.根据权利要求1所述的一种基于cnn-lstm的粒子异常监测系统,其特征在于:模型构建模块中特征提取层进一步包括使用relu激活函数对提取到的特征进行非线性变换,其公式为:
4.根据权利要求1所述的一种基于cnn-lstm的粒子异常监测系统,其特征在于:模型构建模块中cnn-lstm神经网络模型具体包括自输入端到输出端依次连接的第一卷积层、第一激活层、第一池化层、第二卷积层、第二激活层、第二池化层、lstm层和全连接层。
5.根据权利要求4所述的一种基于cnn-lstm的粒子异常监测系统,其特征在于:所述第一卷积层的卷...
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