全自动芯片外观缺陷及平面度检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了全自动芯片外观缺陷及平面度检测装置，涉及芯片外观及芯片模块检测技术领域，本发明专利技术通过将第一线激光扫描仪、第一CCD相机、第二线激光扫描仪、第二CCD相机和第三CCD相机设置在第二输送机构的输送路径上，使得众多检测装置集成在同一机台上，有利于降低用工成本和机台总占用空间，配合流水线式的作业模式对芯片进行检测，使得芯片无需在各个装置之间频繁转运，有利于降低转运过程中的二次不良，并使得芯片检测过程中输送稳定，同时，通过将横直的第一输送机构连接在第二输送机构的进出料位置，使得取空的Tray盘可以快速被再次使用，不易造成Tray盘的大量闲置，有利于降低运行管理的成本，并可以在一定程度上提升检测效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及芯片外观及芯片模块检测，尤其涉及全自动芯片外观缺陷及平面度检测装置。

技术介绍

1、在现有的芯片制造领域，为保障生产所得芯片的品质，避免生产所得的芯片存在外观和平面度缺陷，因此，使用检测装置对芯片外观缺陷及平面度的检测至关重要。

2、常规作业模式下，芯片的外观缺陷检测、平整度检测等项目都是在各自对应的检测装置上分别进行的，这就导致芯片在一系列的检测过程中，需要在不同机台之间来回转运，这不仅会导致人力用工成本大幅度的提升，还容易对芯片造成二次不良，并且各项检测间的输送混乱，容易出现混料以及二维码信息错乱的情况，影响检测效率和效果，并且由于每个芯片的各项检测操作需要逐个完成，这导致每个检测装置进料位置的tray盘在芯片取料完成后便处于空置状态，难以将空置的tray盘快速转移至对应的出料位置盛放合格芯片，导致需要在进料位置和出料位置堆放大量空置的tray盘，在检测过程中造成大量tray盘的闲置，不仅会造成资源浪费，还占用了有限的工作空间，增加了设备维护与管理的难度，并且，由于tray盘无法高效流转，检测设备需要频繁等待新的tray盘就位本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.全自动芯片外观缺陷及平面度检测装置，包括机台（1），其特征在于：所述机台（1）的顶部安装有横直设置的第一输送机构，且第一输送机构的后方连接有设置为“冂”字形结构的第二输送机构，所述机台（1）上竖直固定有两个设置在第二输送机构输送路径上的柱台（502），所述机台（1）上对称固定有位于柱台（502）顶部前后两侧的第一CCD相机（503），所述机台（1）上转动安装有位于第二输送机构输送路径上的分度盘（504），且分度盘（504）上固定有四个均匀分布的第一托盘（505），四个所述第一托盘（505）呈“十”字形结构分布，所述机台（1）上固定有用于驱动分度盘（504）旋转的第二伺服电机（506）...

【技术特征摘要】

1.全自动芯片外观缺陷及平面度检测装置，包括机台（1），其特征在于：所述机台（1）的顶部安装有横直设置的第一输送机构，且第一输送机构的后方连接有设置为“冂”字形结构的第二输送机构，所述机台（1）上竖直固定有两个设置在第二输送机构输送路径上的柱台（502），所述机台（1）上对称固定有位于柱台（502）顶部前后两侧的第一ccd相机（503），所述机台（1）上转动安装有位于第二输送机构输送路径上的分度盘（504），且分度盘（504）上固定有四个均匀分布的第一托盘（505），四个所述第一托盘（505）呈“十”字形结构分布，所述机台（1）上固定有用于驱动分度盘（504）旋转的第二伺服电机（506），所述机台（1）上固定有第二线激光扫描仪（507）和第二ccd相机（508），所述第二线激光扫描仪（507）位于后方第一托盘（505）的正上方，所述第二ccd相机（508）位于远离柱台（502）的第一托盘（505）的正上方，所述机台（1）上固定有位于第二输送机构输送路径上的第三ccd相机（509），所述第二输送机构的末端设置有支撑板（801），且支撑板（801）上放置有平面度ng收料盘（802）和外观ng收料盘（803）。

2.根据权利要求1所述的全自动芯片外观缺陷及平面度检测装置，其特征在于：所述第一输送机构包括连接在同一直线上的输送架（2），左侧所述输送架（2）上设置有位于左侧的入料区（204），以及设置在入料区（204）右侧的抓取区（205），右侧所述输送架（2）上设置有位于右侧的出料区（206），以及设置在出料区（206）左侧的良品收料区（207），左右两个所述输送架（2）的连接位置设置有位于抓取区（205）和良品收料区（207）之间的空盘预存区（208），所述入料区（204）和出料区（206）内均安装有料盘堆放机构。

3.根据权利要求2所述的全自动芯片外观缺陷及平面度检测装置，其特征在于：所述输送架（2）的左右两端均转动安装有输送辊（201），两个所述输送辊（201）对应的端头之间传动套接有输送带（202），所述输送架（2）上固定有用于驱动输送辊（201）旋转的第一伺服电机（203）。

4.根据权利要求3所述的全自动芯片外观缺陷及平面度检测装置，其特征在于：所述料盘堆放机构包括固定安装在输送架（2）上的盒体（3），且盒体（3）的左右两端壁上均固定有横向设置的第一电推杆（301），所述第一电推杆（301）的伸缩端指向盒体（3）中心位置，并固定有卡块（302），所述机台（1）上竖直固定有位于盒体（3）正下方的第二电推杆（303），且第二电推杆（303）的伸缩端上固定有位于前后两个输送带（202）之间的顶板（304）。

5.根据权利要求3所述的全自动芯片外观缺陷及平面度检测装置，其特征在于：所述入料区（204）、抓取区（205）、出料区（206）、良品收料区（207）和空盘预存区（208）的长度相等，所述输送架（2）上固定有位于入料区（204）、出料区（2...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗锡锋，胡晨光，
申请(专利权)人：苏州金城桐元电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：