一种LED分选用合图方法、系统技术方案

技术编号:45632244 阅读:20 留言:0更新日期:2025-06-24 18:55
本发明专利技术提供一种LED分选用合图方法及系统,该方法包括:通过分选机得到LED晶圆片的扫描图档,通过点测机得到LED晶圆片的点测图档;将二者进行对比,判断LED晶圆片的扫描良率;设定扫描良率临界值,当扫描良率小于扫描良率临界值时,用二次合图法将扫描图档与点测图档进行二次合图,包括:在点测图档中,选取参考点晶粒坐标;以参考点晶粒坐标为中心点,计算参考点晶粒坐标到空白地形的距离,生成更新后点测图档;在扫描图档中,扫描空白地形,根据点测图档中参考点晶粒坐标到各空白地形的距离,反推扫描图档中参考点晶粒坐标,生成更新后扫描图档;将二者合并得到结合图档;基于结合图档判断是否合图成功。本发明专利技术可以对LED晶圆片进行二次分选。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及led生产制造,特别涉及一种led分选用合图方法、系统。


技术介绍

1、发光二极管(light-emitting diode,led)是一种能发光的半导体电子元件。这种电子元件早在1962年出现,早期只能发出低光度的红光,之后发展出其他单色光的版本,时至今日能发出的光已遍及可见光、红外线及紫外线,亮度也提高到相当的亮度。而用途也由初时作为指示灯、显示板等;随着技术的不断进步,发光二极管已被广泛的应用于显示器、电视机背光、装饰和照明。在led半导体芯片制造行业,随着产能需求增加,所需分选机数量也日益增多,在生产中往往会遇到许多问题需要通过重新扫描才可继续作业,机台再次扫描后因扫描良率过低导致机台无法自动合图,需要人员手动合图。

2、现有技术中led芯片分选流程具体为:首先对晶圆进行扫描,确定每一颗芯片的位置信息,对晶圆上的led芯片进行测试,生成测试文档;然后分选机对晶圆扫描生成扫描文档,最后对扫描文档和测试文档进行合档,根据需求得到分选文档,并对led芯片进行分选入bin。

3、然而现有技术存在以下缺陷和不足:

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种LED分选用合图方法,其特征在于,包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的LED分选用合图方法,其特征在于,所述通过分选机扫描LED晶圆片,得到所述LED晶圆片的扫描图档,并通过点测机测试所述LED晶圆片,得到所述LED晶圆片的点测图档,具体步骤包括:

3.根据权利要求2所述的LED分选用合图方法,其特征在于,所述将所述扫描图档与所述点测图档进行对比,通过所述分选机判断所述LED晶圆片的扫描良率,具体步骤包括:

4.根据权利要求1所述的LED分选用合图方法,其特征在于,当所述LED晶圆片的扫描良率大于所述扫描良率临界值时,采用一般合图法将所述扫...

【技术特征摘要】

1.一种led分选用合图方法,其特征在于,包括如下步骤:

2.根据权利要求1所述的led分选用合图方法,其特征在于,所述通过分选机扫描led晶圆片,得到所述led晶圆片的扫描图档,并通过点测机测试所述led晶圆片,得到所述led晶圆片的点测图档,具体步骤包括:

3.根据权利要求2所述的led分选用合图方法,其特征在于,所述将所述扫描图档与所述点测图档进行对比,通过所述分选机判断所述led晶圆片的扫描良率,具体步骤包括:

4.根据权利要求1所述的led分选用合图方法,其特征在于,当所述led晶圆片的扫描良率大于所述扫描良率临界值时,采用一般合图法将所述扫描图档与所述点测图档进行一次合图,具体步骤包括:

5.根据权利要求1所述的led分选用合图方法,其特征在于,在所述点测图档中,所述空白地形为已挑拣...

【专利技术属性】
技术研发人员:邹长有金从龙文国昇董国庆赵晓明王晓明曾祥干李宗魁宋幸
申请(专利权)人:江西兆驰半导体有限公司
类型:发明
国别省市:

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