光学模块的制造方法、气体激光装置的制造方法和光学模块的制造治具制造方法及图纸

提供光学模块的制造方法、气体激光装置的制造方法和光学模块的制造治具。在光学模块的制造方法中，光学模块包含：输出耦合镜，使激光的一部分透过，使激光的另一部分反射；平面镜，包含与输出耦合镜的激光的入射侧的面垂直的平面反射面，光学模块的制造方法具有以下工序：以使射出的光垂直入射到入射侧的面的方式配置第1自动准直器；以使第1自动准直器射出的光垂直入射到如下第1反射面的方式在入射侧的面与第1自动准直器之间配置光学元件，该第1反射面包含于光学元件，该光学元件包含与第1反射面成45°且与入射面侧的面对置的第2反射面；以使射出的光在第2反射面反射并垂直入射到入射侧的面的方式配置第2自动准直器；去除光学元件，以使从第2自动准直器出射的光垂直入射到平面镜的反射面的方式配置平面镜。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及光学模块的制造方法、气体激光装置的制造方法和光学模块的制造治具。

技术介绍

1、近年来，在半导体曝光装置中，随着半导体集成电路的微细化和高集成化，要求分辨率的提高。因此，从曝光用光源发出的光的短波长化得以发展。例如，作为曝光用的气体激光装置，使用输出波长大约为248.0nm的激光的krf准分子激光装置、以及输出波长大约为193.4nm的激光的arf准分子激光装置。

2、krf准分子激光装置和arf准分子激光装置的自然振荡光的谱线宽度较宽，为350pm～400pm。因此，在利用使krf和arf激光这样的紫外线透过的材料构成投影透镜时，有时会产生色差。其结果，分辨率可能降低。因此，需要将从气体激光装置输出的激光的谱线宽度窄带化到能够无视色差的程度。因此，在气体激光装置的激光谐振器内，为了使谱线宽度窄带化，有时具有包含窄带化元件(标准具、光栅等)的窄带化模块(line narrowingmodule：lnm)。下面，将谱线宽度被窄带化的气体激光装置称为窄带化气体激光装置。

3、专利文献1：日本特开平08-118667号公报...

【技术保护点】

1.一种光学模块的制造方法，所述光学模块包含：输出耦合镜，其使激光的一部分透过，使所述激光的另一部分反射；以及平面镜，其包含与所述输出耦合镜的所述激光的入射侧的面垂直的平面反射面，其中，所述光学模块的制造方法具有以下工序：

2.根据权利要求1所述的光学模块的制造方法，其中，

3.根据权利要求1所述的光学模块的制造方法，其中，

4.根据权利要求3所述的光学模块的制造方法，其中，

5.根据权利要求3所述的光学模块的制造方法，其中，

6.根据权利要求1所述的光学模块的制造方法，其中，

7.根据权利要求6所述的光学模块的制造...

【技术特征摘要】

1.一种光学模块的制造方法，所述光学模块包含：输出耦合镜，其使激光的一部分透过，使所述激光的另一部分反射；以及平面镜，其包含与所述输出耦合镜的所述激光的入射侧的面垂直的平面反射面，其中，所述光学模块的制造方法具有以下工序：

2.根据权利要求1所述的光学模块的制造方法，其中，

3.根据权利要求1所述的光学模块的制造方法，其中，

4.根据权利要求3所述的光学模块的制造方法，其中，

5.根据权利要求3所述的光学模块的制造方法，其中，

6.根据权利要求1所述的光学模块的制造方法，其中，

7.根据权利要求6所述的光学模块的制造方法，其中，

8.根据权利要求7所述的光学模块的制造方法，其中，

9.根据权利要求7所述的光学模块的制造方法，其中，

10.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：服部正和，小田雄纪，山口达夫，宫本浩孝，
申请(专利权)人：极光先进雷射株式会社，
类型：发明
国别省市：