【技术实现步骤摘要】
本技术涉及自清洁设备，具体指一种自清洁气体过滤装置及清洁系统。
技术介绍
1、在当前的氢化物气象外延系统(hydride vaporphase epitaxy,hvpe)加工过程中，气体排放环节面临着一个显著的技术挑战。该系统在生长高质量半导体材料时，不可避免地会产生含有粘附氯化铵粉末等杂质的气体。这些杂质若不经处理直接排放，将对环境造成严重污染，因此，必须通过过滤系统对这些气体进行净化。然而，现有的过滤技术在应对这一问题时存在明显的不足。
2、在hvpe加工过程中，氯化铵粉末等杂质由于其特殊的物理性质，极易粘附在过滤器的滤芯上，导致滤芯的过滤效率迅速下降。为了维持过滤系统的正常运作，需要定期对滤芯进行拆装和清洁。这种频繁的维护操作不仅耗费了大量的人力物力，而且降低了生产线的连续作业能力，影响了设备稼动率。
3、更为严重的是，当滤芯上的杂质积累到一定程度，导致滤芯完全堵塞时，常规的清洁手段已经无法恢复滤芯的过滤功能，只能更换新的滤芯。由于目前缺乏有效的实时监测手段，对滤芯堵塞的判断主要依赖于对过滤后尾气的检测，这...
【技术保护点】
1.一种自清洁气体过滤装置，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的自清洁气体过滤装置，其特征在于：所述反馈模块包括清洁模块及警报模块，所述清洁模块以及所述警报模块分别信号连接所述控制模块，其中，
3.根据权利要求1所述的自清洁气体过滤装置，其特征在于：所述自清洁机构还包括磁体，所述磁体设置于所述壳体内部，且连接所述毛刷，所述驱动装置设置为磁力驱动装置，所述磁力驱动装连接于所述壳体外部，所述磁体通过所述驱动装置围绕所述滤芯移动，以驱动所述毛刷，其中，所述磁体一端转动连接于所述壳体，且与所述壳体间隔设置。
4.根据权利要求1所述的...
【技术特征摘要】
1.一种自清洁气体过滤装置，其特征在于：包括：
2.根据权利要求1所述的自清洁气体过滤装置，其特征在于：所述反馈模块包括清洁模块及警报模块，所述清洁模块以及所述警报模块分别信号连接所述控制模块，其中，
3.根据权利要求1所述的自清洁气体过滤装置，其特征在于：所述自清洁机构还包括磁体，所述磁体设置于所述壳体内部，且连接所述毛刷，所述驱动装置设置为磁力驱动装置，所述磁力驱动装连接于所述壳体外部，所述磁体通过所述驱动装置围绕所述滤芯移动，以驱动所述毛刷，其中，所述磁体一端转动连接于所述壳体，且与所述壳体间隔设置。
4.根据权利要求1所述的自清洁气体过滤装置，其特征在于：所述壳体内部划分为安装空间及气体缓存空间，在所述壳体高度方向上，所述安装空间设置于所述气体缓存空间上方，所述滤芯设置于所述安装空间中，其一端与所述进气端连通，另一端与所述气体缓存空间连通，所述进气端对应所述气体缓存空间设置，待过滤气通过所述进气端积聚于所述气体缓存空间后，由下至上进入所述滤芯。
5.根据权利要求4所述的自清洁气体过滤装置，其特征在于：所述壳体包括侧壁、第一密封组件以及第二密封组件，所述第一密封组件及所述第二密封组件分别连接于所述侧壁两端，其中，所述第一密封组件与部分所述侧壁共同围设出所述安装空间，所述第二密封组件与部分所述侧壁共同围设出承接空间，其中，所述第一密封组件包括顶板以及至少一个第一连接件，所述顶板通过所述第一连接件与所述侧壁可拆卸地连接；所述第二密封组件包括底板以及至少一个第二连...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋承鑫，王风顺，周靖焱，
申请(专利权)人：苏州纳维科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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