【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体级石英砂制备,具体涉及一种全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺。
技术介绍
1、高纯石英砂是指sio2纯度≥99.99%的石英,因其优异的化学稳定性、耐高温性、低热膨胀系数和高透光性,在多个高科技产业中具有不可替代的作用。
2、在半导体领域中,制造单晶硅的石英坩埚以及半导体加工中的石英舟、石英管、扩散炉等关键部件都是以超高纯石英砂(sio2纯度≥99.9992%)为原料。由于石英砂中金属杂质的存在会显著影响相应的高精度石英制品,因而半导体行业中对石英砂的纯度有着极高的要求,特别是其中的ca、fe以及碱金属(na、k、li等)杂质含量必须控制在2 ppm以内。
3、高纯石英砂的提纯工艺牵扯到一系列环节,包括矿石破碎、高温煅烧、水淬、制砂筛分、浮选、酸洗以及高温氯化等,其中浮选作为提纯工艺最重要的环节,可有效去除绝大部分矿物杂质以及金属杂质。浮选是一种利用矿物表面物理化学性质差异(如化学吸附、物理吸附以及亲疏水性不同等)来分离石英与杂质矿物的选矿方法。其核心机制是通过药剂调控矿物表面性质,利用气泡选
...【技术保护点】
1.一种全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,其特征在于,包括步骤:
2.根据权利要求1所述的全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,其特征在于,步骤S01中,粗破后粒径大于3 cm的矿石回收继续进行粗破。
3.根据权利要求1所述的全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,其特征在于,步骤S02中,所述色选采用激光光源。
4.根据权利要求1所述的全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,其特征在于,步骤S04、步骤S07中,采用电磁磁选机进行所述磁选,电磁磁选机背景磁场强度为5000-6000GS,所述磁选的时间为2-4 h。
5.根据权
...【技术特征摘要】
1.一种全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,其特征在于,包括步骤:
2.根据权利要求1所述的全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,其特征在于,步骤s01中,粗破后粒径大于3 cm的矿石回收继续进行粗破。
3.根据权利要求1所述的全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,其特征在于,步骤s02中,所述色选采用激光光源。
4.根据权利要求1所述的全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,其特征在于,步骤s04、步骤s07中,采用电磁磁选机进行所述磁选,电磁磁选机背景磁场强度为5000-6000gs,所述磁选的时间为2-4 h。
5.根据权利要求1所述的全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,其特征在于,步骤s05中:
6.根据权利要求...
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