当前位置: 首页 > 专利查询>浙江大学专利>正文

一种全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺制造技术

技术编号:45616076 阅读:28 留言:0更新日期:2025-06-24 18:44
本发明专利技术公开了一种全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,包括:原料矿石粗破得平均粒径1‑3 cm的粗破矿石;粗破矿石色选,挑出云母和/或长石含量超检出限的粗破矿石,剩余粗破矿石水洗、烘干;烘干后的粗破矿石焙烧水淬,细破制砂得60‑160目的石英砂颗粒;石英砂颗粒磁选分离出磁性矿物杂质;磁选后的石英砂置于擦洗剂中浸泡1‑2小时,随后进行微波辅助下的擦洗3‑4小时;擦洗后的石英砂进行反浮选操作并烘干;得到的石英砂再次磁选分离出磁性矿物杂质;将得到的石英砂重复进行浸泡擦洗、反浮选和烘干操作一次;用氯化铵固体在1100‑1200℃条件下对所得石英砂进行氯化提纯,得到半导体级石英砂。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体级石英砂制备,具体涉及一种全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺


技术介绍

1、高纯石英砂是指sio2纯度≥99.99%的石英,因其优异的化学稳定性、耐高温性、低热膨胀系数和高透光性,在多个高科技产业中具有不可替代的作用。

2、在半导体领域中,制造单晶硅的石英坩埚以及半导体加工中的石英舟、石英管、扩散炉等关键部件都是以超高纯石英砂(sio2纯度≥99.9992%)为原料。由于石英砂中金属杂质的存在会显著影响相应的高精度石英制品,因而半导体行业中对石英砂的纯度有着极高的要求,特别是其中的ca、fe以及碱金属(na、k、li等)杂质含量必须控制在2 ppm以内。

3、高纯石英砂的提纯工艺牵扯到一系列环节,包括矿石破碎、高温煅烧、水淬、制砂筛分、浮选、酸洗以及高温氯化等,其中浮选作为提纯工艺最重要的环节,可有效去除绝大部分矿物杂质以及金属杂质。浮选是一种利用矿物表面物理化学性质差异(如化学吸附、物理吸附以及亲疏水性不同等)来分离石英与杂质矿物的选矿方法。其核心机制是通过药剂调控矿物表面性质,利用气泡选择性携带疏水性矿物实本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,其特征在于,包括步骤:

2.根据权利要求1所述的全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,其特征在于,步骤S01中,粗破后粒径大于3 cm的矿石回收继续进行粗破。

3.根据权利要求1所述的全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,其特征在于,步骤S02中,所述色选采用激光光源。

4.根据权利要求1所述的全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,其特征在于,步骤S04、步骤S07中,采用电磁磁选机进行所述磁选,电磁磁选机背景磁场强度为5000-6000GS,所述磁选的时间为2-4 h。

5.根据权利要求1所述的全流程...

【技术特征摘要】

1.一种全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,其特征在于,包括步骤:

2.根据权利要求1所述的全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,其特征在于,步骤s01中,粗破后粒径大于3 cm的矿石回收继续进行粗破。

3.根据权利要求1所述的全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,其特征在于,步骤s02中,所述色选采用激光光源。

4.根据权利要求1所述的全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,其特征在于,步骤s04、步骤s07中,采用电磁磁选机进行所述磁选,电磁磁选机背景磁场强度为5000-6000gs,所述磁选的时间为2-4 h。

5.根据权利要求1所述的全流程无酸的半导体级石英砂提纯工艺,其特征在于,步骤s05中:

6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:余学功张斌余治国杨德仁
申请(专利权)人:浙江大学
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1