【技术实现步骤摘要】
本公开的实施例涉及一种监测电路和半导体装置。
技术介绍
1、通过半导体加工而制造的半导体装置可能由于各种因素而不能正常操作，或者可能存在缺陷。因此，在半导体加工中检查半导体装置的缺陷，但是检查的准确性不高，并且检查半导体装置需要较长的时间。另外，迄今为止，根据现有的检查方法，逐个地检查在衬底上制造的许多半导体装置的缺陷通常是不切实际的。
技术实现思路
1、本专利技术总体涉及一种半导体装置的监测电路和包括该监测电路的半导体装置。本专利技术的监测电路和半导体装置的各种优点可包括：
2、监测电路可准确和快速地识别半导体装置的缺陷。
3、监测电路可准确和快速地识别每个单独的半导体装置是否通过半导体加工被正常制造而没有缺陷。
4、监测电路可准确地监测布置有具有各个阈值电压电平的晶体管的半导体装置。
5、监测电路可以数字方式来监测半导体装置。
6、半导体装置可自己监测自身的状态、性能和特性。
7、当半导体装置中布置的晶体管具有各个...
【技术保护点】
1.一种监测半导体装置的监测电路，所述监测电路包括：
2.根据权利要求1所述的监测电路，其中如果输入计数使能信号，则所述计数器在基于时钟信号的设定时间期间，对所述振荡信号的所述上升次数或所述下降次数进行计数。
3.根据权利要求1所述的监测电路，其中所述振荡电路包括一个或多个振荡器，所述一个或多个振荡器根据振荡使能信号而被启用以生成所述振荡信号。
4.根据权利要求3所述的监测电路，其中每个振荡器是基于数字的环形振荡器。
5.根据权利要求3所述的监测电路，其中如果所述振荡电路包括两个或更多个振荡器，则所述两个或更多个振荡器中...
【技术特征摘要】
1.一种监测半导体装置的监测电路，所述监测电路包括：
2.根据权利要求1所述的监测电路，其中如果输入计数使能信号，则所述计数器在基于时钟信号的设定时间期间，对所述振荡信号的所述上升次数或所述下降次数进行计数。
3.根据权利要求1所述的监测电路，其中所述振荡电路包括一个或多个振荡器，所述一个或多个振荡器根据振荡使能信号而被启用以生成所述振荡信号。
4.根据权利要求3所述的监测电路，其中每个振荡器是基于数字的环形振荡器。
5.根据权利要求3所述的监测电路，其中如果所述振荡电路包括两个或更多个振荡器，则所述两个或更多个振荡器中的每一个振荡器包括nand门和与所述nand门串联连接的奇数个反相器，并且
6.根据权利要求3所述的监测电路，其中如果所述振荡电路包括两个或更多个振荡器，则所述两个或更多个振荡器根据在不同定时输入的振荡使能信号而分别在不同定时生成所述振荡信号。
7.根据权利要求3所述的监测电路，进一步包括：如果所述振荡电路包括两个或更多个振荡器，则多路复用器根据选择信号来将由所述两个或更多个振荡器中的一个振荡器生成的振荡信号传送到所述计数器。
8.根据权利要求7所述的监测电路，其中所述两个或更多个振荡器根据不同的阈值电压电平而分别生成具有不同上升特性或不同下降特性的振荡信号。
9.根据权利要求8所述的监测电路，其中所述振荡电路包括第一振荡器和第二振荡器，所述第一振荡器根据第一阈值电压电平而生成第一振荡信号，所述第二振荡器根据第二阈值电压电平而生成第二振荡信号，其中所述第二阈值电压电平不同于所述第一阈值电压电平，
10.根据权利要求9所述的监测电路，其中所述振荡电路进一步包括第三振荡器，所述第三振荡器根据第三阈值...
【专利技术属性】
技术研发人员：金泰平，
申请(专利权)人：爱思开海力士有限公司，
类型：发明
国别省市：
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