双标定板的双龙门针刺式固晶机线性度校准方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种双标定板的双龙门针刺式固晶机线性度校准方法及装置，属于固晶机设备技术领域，包括以下步骤：S1、在双龙门针刺式固晶机的晶圆机构上设置双标定板，双标定板包括标定板一和标定板二；S2、通过移动晶圆机构和针刺机构，使相机对准双标定板的中心，记录下双标定板的坐标数据；S3、通过标定测量得出所有标定点的标定结果集合；S4、通过标定结果对固晶时的晶圆机构坐标进行补偿，从而调整固晶的坐标。本发明专利技术采用上述的双标定板的双龙门针刺式固晶机线性度校准方法，能够精确分析偏差并提供有效的补偿策略，可显著提高机械系统的线性运动精度，保障产品质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及固晶机设备，尤其是涉及一种双标定板的双龙门针刺式固晶机线性度校准方法及装置。

技术介绍

1、固晶机在半导体芯片制造等领域应用广泛，双龙门针刺式固晶机的线性度对其工作精度和效率有着重要影响。

2、固晶设备是应用于后道封测关键工序，精度、速度的要求越高，uph越快越容易出现偏差。固晶质量会直接影响后续的打线等环节，并直接影响了产能和芯片封测良率及成本。

3、由于对精度的极高要求，对固晶机的加工要求很高，但是现有的加工工艺很难达到这种程度的精度要求，对于双龙门结构的针刺式固晶机而言，就存在着线性度，直线度误差，这些误差严重影响芯片转移的良率。如何使用有效的低成本的措施减少这些误差是重点任务。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是提供一种双标定板的双龙门针刺式固晶机线性度校准方法及装置，旨在解决双龙门针刺式固晶机在工作过程中因线性度问题导致的定位精度差、生产效率低等问题，提高了固晶机的工作精度和稳定性，满足半导体芯片制造等行业对固晶机高可靠性和高精度的需求。</p>

2、为实本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种双标定板的双龙门针刺式固晶机线性度校准方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种双标定板的双龙门针刺式固晶机线性度校准方法，其特征在于，步骤S1中，将双标定板贴在晶圆机构上靠近中轴线两边的位置，确保相机的视野能够捕捉到双标定板的中心位置。

3.根据权利要求2所述的一种双标定板的双龙门针刺式固晶机线性度校准方法，其特征在于，步骤S2包括：

4.根据权利要求3所述的一种双标定板的双龙门针刺式固晶机线性度校准方法，其特征在于，步骤S3中，所有标定点的标定结果集合包含晶圆机构在飞拍位置时双标定板的初始坐标(Xc1,Yc1)和(Xc2...

【技术特征摘要】

1.一种双标定板的双龙门针刺式固晶机线性度校准方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种双标定板的双龙门针刺式固晶机线性度校准方法，其特征在于，步骤s1中，将双标定板贴在晶圆机构上靠近中轴线两边的位置，确保相机的视野能够捕捉到双标定板的中心位置。

3.根据权利要求2所述的一种双标定板的双龙门针刺式固晶机线性度校准方法，其特征在于，步骤s2包括：

4.根据权利要求3所述的一种双标定板的双龙门针刺式固晶机线性度校准方法，其特征在于，步骤s3中，所有标定点的标定结果集合包含晶圆机构在飞拍位置时双标定板的初始坐标(xc1,yc1)和(xc2,yc2)、晶圆机构移动到每一个标定点时双标定板的实际坐标(xa1,ya1)和(xa2,ya2)以及晶圆机构电机坐标(xb,yb)。

5.根据权利要求4所述的一种双...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭俊明，陈境雄，孙海威，张财政，舒少坤，
申请(专利权)人：北京海炬科技有限公司，
类型：发明
国别省市：