一种碳化硅抛光液生产用过滤装置制造方法及图纸

本技术属于过滤设备技术领域，具体为一种碳化硅抛光液生产用过滤装置，包括固定底座和固定支架，所述固定支架呈T字形结构，所述固定支架焊接在固定底座表面，所述固定底座表面安装有一号过滤桶和二号过滤桶，所述一号过滤桶和二号过滤桶呈对称式设置，所述固定支架两端均安装有液压杆，所述液压杆端部均连接有压盘，所述一号过滤桶和二号过滤桶内腔底部均安装有滤网，所述固定支架表面设有进料总管；本新型通过设置两组过滤桶，可交替上料，并实现对碳化硅抛光液交替过滤，同时在过滤时对过滤桶内的碳化硅抛光液施加压力，可使碳化硅抛光液快速穿过滤网，以提升对碳化硅抛光液的过滤效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及过滤设备，具体为一种碳化硅抛光液生产用过滤装置。

技术介绍

1、随着半导体、新能源、高端智能制造、5g信息技术、ai人工智能等高新技术企业的发展，半导体行业越来越成为一种新型热门行业。半导体市场随之火爆，半导体材料的数量需求越来越大，质量需要也越来越高，半导体晶圆在生产过程下需要通过碳化硅抛光液进行抛光处理，碳化硅抛光液在生产时需要对酸碱性进行精准控制，可减少对晶圆的腐蚀。

2、目前专利公开号为cn220968380u的专利技术专利，公开了碳化硅抛光液过滤设备，本申请提供的碳化硅抛光液过滤设备，包括：进液管；出液管，与所述进液管对应设置；多个过滤部，设置在所述进液管与所述出液管之间，所述进液管中的液体流过一个所述过滤部后进入所述出液管；切换机构，被配置为将下一个所述过滤部替换到上一个所述过滤部的位置上。通过切换机构，在过滤部过滤溶液预定时间后，切换机构自动将下一个所述过滤部替换到上一个所述过滤部的位置上，使得过滤部始终保持稳定的过滤效果，有利于持续过滤溶液。

3、现有的碳化硅抛光液生产用过滤装置在使用过程中，碳化硅抛光液通本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种碳化硅抛光液生产用过滤装置，包括固定底座（1）和固定支架（4），所述固定支架（4）呈T字形结构，所述固定支架（4）焊接在固定底座（1）表面，其特征在于，所述固定底座（1）表面安装有一号过滤桶（2）和二号过滤桶（3），所述一号过滤桶（2）和二号过滤桶（3）呈对称式设置；

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅抛光液生产用过滤装置，其特征在于，所述一号过滤桶（2）相连接的导料分管（6）上安装有一号进料电磁阀（8）。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅抛光液生产用过滤装置，其特征在于，所述二号过滤桶（3）相连接的导料分管（6）上安装有二号进料电磁阀（9）。

<...

【技术特征摘要】

1.一种碳化硅抛光液生产用过滤装置，包括固定底座（1）和固定支架（4），所述固定支架（4）呈t字形结构，所述固定支架（4）焊接在固定底座（1）表面，其特征在于，所述固定底座（1）表面安装有一号过滤桶（2）和二号过滤桶（3），所述一号过滤桶（2）和二号过滤桶（3）呈对称式设置；

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅抛光液生产用过滤装置，其特征在于，所述一号过滤桶（2）相连接的导料分管（6）上安装有一号进料电磁阀（8）。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅抛光液生产用过滤装置，其特征在于，所述二号过滤桶（3）相连接的导料分管（6）上安装有二号进料电磁阀（9）。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅抛光液...

【专利技术属性】
技术研发人员：段云芳，段云莉，张利，张凯，
申请(专利权)人：天津赛力成科技有限公司，
类型：新型
国别省市：