【技术实现步骤摘要】
：本技术涉及硅烷液体充装，特别涉及一种硅烷液体充装系统。
技术介绍
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技术介绍
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1、硅烷气作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、硅碳负极等材料，广泛应用于集成电路、生物医药、光伏、显示面板、半导体、微电子、光电子等行业。因其高纯度和能实现精细化控制，已成为上述行业所需无法取代的特种气体。随着化工工业的不断发展，气体行业下游产业丰富，硅烷气的需求使用逐年增加。
2、硅烷气在常温常压下为一种无色、高活性和可压缩气体，但硅烷气特有的自燃性、爆炸性导致硅烷气属于高危险性气体，在运输过程中存在较大的安全风险。现有充装运输技术是将硅烷气化增压充装入钢瓶或集束车运输，因此现有的充装运输技术存在以下问题：1、充装硅烷气需使用压缩机增压，充装压力高达13～15mpa，高压力下泄露风险增大，一旦泄露，可能引发火灾、爆炸，对人员生命和财产安全构成严重威胁；2、整体充装系统到运输系统需涉及到高精度压缩机、氮气置换系统、精密控制系统，废气排放回收系统等高精密设备，设备结构复杂，运行维护成本高。
【技术保护点】
1.一种硅烷液体充装系统，其特征在于，其包括硅烷储罐、运输总管、回流管、灌装管和氮气置换管线；所述硅烷储罐的出液口与所述运输总管的进液端连通，所述运输总管的出液端分别与所述回流管和所述灌装管的进液端连通，所述回流管的出液端与所述硅烷储罐的进口连通，在所述运输总管上沿着硅烷流动方向依次设置有液体泵、调节阀、第一压力传感器和所述氮气置换管线，所述氮气置换管线的出气端与所述运输总管连通设置，在所述氮气置换管线上设置有气体阀门；
2.根据权利要求1所述的一种硅烷液体充装系统，其特征在于，其还包括第二压力传感器和第二排放阀；在所述硅烷储罐的顶部连通设置有冷凝器，在所...
【技术特征摘要】
1.一种硅烷液体充装系统，其特征在于，其包括硅烷储罐、运输总管、回流管、灌装管和氮气置换管线；所述硅烷储罐的出液口与所述运输总管的进液端连通，所述运输总管的出液端分别与所述回流管和所述灌装管的进液端连通，所述回流管的出液端与所述硅烷储罐的进口连通，在所述运输总管上沿着硅烷流动方向依次设置有液体泵、调节阀、第一压力传感器和所述氮气置换管线，所述氮气置换管线的出气端与所述运输总管连通设置，在所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王少帅，于跃，魏富增，马英英，张泽玉，
申请(专利权)人：内蒙古大全半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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