MEMS麦克风和电子设备制造技术

本申请公开了一种MEMS麦克风和电子设备。MEMS麦克风包括衬底结构、振膜结构、支撑结构和背极结构；振膜结构叠设于衬底结构的一侧，振膜结构包括位于中心的第一功能区和连接于第一功能区周侧成对设置的多个第二功能区，且每对第二功能区分别位于第一功能区相对的两侧；支撑结构叠设于衬底结构的一侧，并环绕于振膜结构的外侧，支撑结构包括支撑部和与多个第二功能区相对应的多个功能部；背极结构叠设于支撑结构远离于衬底结构的一侧，并能够与第一功能区形成平行板电容，且当振膜结构与背极结构之间的电压大于设定值时，第一功能区能够吸合至背极结构，使第二功能区能够与对应的功能部形成叉指电容。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及声学设备，更具体地，涉及一种mems麦克风和电子设备。

技术介绍

1、mems指向性麦克风是一种利用微机电系统(mems)技术制造的麦克风，它可以根据声源的方向来调整灵敏度，从而提高语音识别和降噪的效果。然而，这种指向性麦克风只能获取指定方向的声音信号，当不需要收集指定方向而需要收集所有方向的声音信号，或收集环境噪声时，往往需要额外放置一颗非指向性麦克风，造成成本增加。

技术实现思路

1、本申请的一个目的是提供一种mems麦克风和电子设备的新技术方案。

2、根据本申请的第一方面，提供了一种mems麦克风，包括：

3、衬底结构，所述衬底结构的中心设置有第一通孔；

4、振膜结构，所述振膜结构叠设于所述衬底结构的一侧，并与所述第一通孔相对，所述振膜结构包括位于中心的第一功能区和连接于所述第一功能区周侧成对设置的多个第二功能区，且每对所述第二功能区分别位于所述第一功能区相对的两侧；

5、支撑结构，所述支撑结构叠设于所述衬底结构的一侧，并环绕于所述振膜结构的外侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第二功能区包括连接部和第一叉指部，所述功能部为第二叉指部；

3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述连接部设置有多个第二通孔，多个所述第二通孔呈阵列排布。

4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第二叉指部的厚度小于所述连接部的厚度，并与所述衬底结构之间具有间隙。

5.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜结构还包括多个纹膜部，各所述连接部分别通过一个所述纹膜部弹性连接于所述第一功能区的周侧。...

【技术特征摘要】

1.一种mems麦克风，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的mems麦克风，其特征在于，所述第二功能区包括连接部和第一叉指部，所述功能部为第二叉指部；

3.根据权利要求2所述的mems麦克风，其特征在于，所述连接部设置有多个第二通孔，多个所述第二通孔呈阵列排布。

4.根据权利要求2所述的mems麦克风，其特征在于，所述第二叉指部的厚度小于所述连接部的厚度，并与所述衬底结构之间具有间隙。

5.根据权利要求2所述的mems麦克风，其特征在于，所述振膜结构还包括多个纹膜部，各所述连接部分别通过一个所述纹膜部弹性连接于所述第一功能区的周侧。

6.根据权利要求5所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：艾鹭，崔广超，邱冠勳，
申请(专利权)人：歌尔微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：