一种近零排放废水处理系统技术方案

本发明专利技术公开了一种近零排放废水处理系统，包括超纯水处理系统、废水处理系统、再生水处理系统和蒸馏系统；超纯水处理系统用于处理市政供水、蒸馏系统处理后的蒸馏水以及再生水处理系统处理后的再生水，并将市政供水、蒸馏水以及再生水进行超纯水处理，并将处理后的超纯水输送至FAB处理生产车间，并供给FAB处理生产车间使用。本发明专利技术中，采用蒸馏系统替代现有的水回收系统，通过使用蒸馏设备构成蒸馏系统，可以有效地减少系统的占地面积，从而减少空间的使用成本；本发明专利技术中，通过采用蒸馏设备直接将FAB生产车间中的第二类生产废水直接进行高压低温蒸馏后产生蒸馏水，再将蒸馏水输送至超纯水生产系统中，有效地简化了第二类生产废水的处理工艺。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及水处理，尤其涉及一种近零排放废水处理系统。

技术介绍

1、在建设射频滤波器晶圆生产线及射频模组封装测试生产线时，需要对生产污水进行处理，现有的做法通过将市政供水进行超纯水处理，然后供给fab生产车间进行使用，fab生产车间生产出的污水通过废水处理系统处理后，去除内部的研磨废水、含氟废水、氨氮废水、有机废水、含铜废水、含镍废水、含银废水、含砷废水、含金废水和酸碱废水等，再将处理后的废水输送至再生水系统进行处理，以达到市政供水标准，随后再进行超纯水系统，形成水资源的内循环，为了防止总有机碳(toc)的小分子团对栅氧化膜缺陷密度增大从而影响器件性能，在fab生产车间废水排放时，会将废水分为两类，第一类不包含toc小分子团的废水会直接输送至废水处理系统中进行处理，第二类废水则包含toc小分子团，第二类废水将输送至回收水系统内进行处理，回收水系统中的废水分别输送至冷却塔和洗涤塔内进行处理，经过冷却塔和洗涤塔处理的废水分为三部分：第一部分已经去除toc小分子团的废水直接输送至废水处理系统中进行处理，第二部分符合市政供水标准，直接输送至超纯水系统中进行处理本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种近零排放废水处理系统，其特征在于，包括超纯水处理系统、废水处理系统、再生水处理系统和蒸馏系统；

2.根据权利要求1所述的一种近零排放废水处理系统，其特征在于，所述超纯水处理系统采用2B3T-RO-SC/SA-CP工艺。

3.根据权利要求1所述的一种近零排放废水处理系统，其特征在于，所述第一类生产废水包括FAB生产车间中的生产机台排水、废液、反洗废水、再生废水、洗涤塔废水、冷却塔废水和杂项废水；还包括研磨废水、含氟废水、氨氮废水、有机废水、含铜废水、含镍废水、含银废水、含砷废水、含金废水和酸碱废水。

4.根据权利要求1所述的一种近零排放废水处理系...

【技术特征摘要】

1.一种近零排放废水处理系统，其特征在于，包括超纯水处理系统、废水处理系统、再生水处理系统和蒸馏系统；

2.根据权利要求1所述的一种近零排放废水处理系统，其特征在于，所述超纯水处理系统采用2b3t-ro-sc/sa-cp工艺。

3.根据权利要求1所述的一种近零排放废水处理系统，其特征在于，所述第一类生产废水包括fab生产车间中的生产机台排水、废液、反洗废水、再生废水、洗涤塔废水、冷却塔废水和杂项废水；还包括研磨废水、含氟废水、氨氮废水、有机废水、含铜废水、含镍废水、含银废水、含砷废水、含金废水和酸碱废水。

4.根据权利要求1所述的一种近零排放废水处理系统，其特征在于，所述第二类生产废水为除第一类生产废水的其他废水。

5.根据权利要求1所述的一种近零排放废水处理系统，其特征在于，所述蒸馏设备包括蒸发筒(1)，所述蒸发筒(1)的一侧可拆卸式安装有排污盖(2)，所述蒸发筒(1)设置在加热罩(3)上，所述蒸发筒(1)的顶部与热交换器(4)连通，所述热交换器(4)连通有真空泵(5)和储水箱(6)，所述蒸发筒(1)的内部设置有搅拌器(9)，所述搅拌器(9)通过传动皮带(10)与主动带轮(11)传动，所述主动带轮(11)固定在驱动电机(12)的动力输出轴上，所述加热罩(3)连通循环泵(8)的排水端，所述循环泵(8)的进水端与加热箱(7)连通，所述加热箱(7)的顶部设置有开口。

6.根据权利要求5所述的一种近零排放废水处理系统，其特征在于，所述搅拌器(9)包括转轴(901)，所述转轴(901)的一端转动安装在蒸发筒(1)的内壁，所述转轴(901)的另外一端贯穿蒸发筒(1)的另外一侧壁并延伸至蒸发筒(1)的外部，所述转轴(901)在位于蒸发筒(1)外部的一端固定设置有与传动皮带(10)相匹配的从动带轮(903)...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘爱宝，曹惠忠，董畔，凌洪吉，刘娜，
申请(专利权)人：科盛环保科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：