【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体激光器封装,具体涉及一种阵列结构半导体激光器巴条烧结夹具。
技术介绍
1、近年来,随着材料外延技术和半导体制备工艺的快速发展,半导体激光器的性能得到了极大的提高,其应用领域也在不断拓展。相较于传统的固体激光器或光纤激光器,半导体激光器具有体积小、质量轻、波长范围广、易于调制等特点,可直接应用于测量传感、激光雷达、先进制造、医疗健康、光刻与印刷、激光打印、安防监控等众多领域,显示出广阔的市场前景。
2、目前,室温连续条件下半导体激光器的电光转换效率在40%-70%之间,因此工作时将会产生大量的废热,如果不能将这些多余的热量及时排出,将会导致效率降低、波长漂移、光束质量变差等一系列问题,严重的还将导致激光器芯片损坏。通常情况下,半导体激光器巴条的封装采用两步烧结工艺,首先用硬焊料将激光器巴条封装到热沉上组成单个巴条单元,再利用低温焊料将巴条单元与模块热沉、电极等进行烧结,其中巴条单元封装质量的好坏决定了器件的整体散热性能。
3、半导体激光器巴条在真空炉中进行烧结,就必须有专门的烧结夹具,在公告号为
...【技术保护点】
1.一种阵列结构半导体激光器巴条烧结夹具,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的阵列结构半导体激光器巴条烧结夹具,其特征在于,所述底板(1)为平板结构,所述底板(1)表面上第一凹槽(4)的数量、第一凹槽(4)之间的间距均与真空烧结炉加热区的体积大小相关。
3.根据权利要求1或2所述的阵列结构半导体激光器巴条烧结夹具,其特征在于,每一阵列单元(2)底部的面积大小与每一所述第一凹槽(4)相适应,以使得每一所述阵列单元(2)卡设于所述每一第一凹槽(4)上。
4.根据权利要求3所述的阵列结构半导体激光器巴条烧结夹具,其特征在于,所述第
...【技术特征摘要】
1.一种阵列结构半导体激光器巴条烧结夹具,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的阵列结构半导体激光器巴条烧结夹具,其特征在于,所述底板(1)为平板结构,所述底板(1)表面上第一凹槽(4)的数量、第一凹槽(4)之间的间距均与真空烧结炉加热区的体积大小相关。
3.根据权利要求1或2所述的阵列结构半导体激光器巴条烧结夹具,其特征在于,每一阵列单元(2)底部的面积大小与每一所述第一凹槽(4)相适应,以使得每一所述阵列单元(2)卡设于所述每一第一凹槽(4)上。
4.根据权利要求3所述的阵列结构半导体激光器巴条烧结夹具,其特征在于,所述第一倾斜面(12)与第二倾斜面(13)相互垂直,所述第一倾斜面(12)、第二倾斜面(13)均与所述底板(1)平面的夹角为45度;以及
5.根据权利要求1或4所述的阵列结构半导体激光器巴条烧结夹具,其特征在于,所述防粘片(5)为长方体结构,所述防粘片(5)底部的面积大小与所述第二凹槽(6)相适应,以使所述防粘片(5)卡设于所述第二凹槽(6)内;以及
6.根据权利要求5所述的阵列结构半导体激光器巴条烧结夹具,其特征在于,...
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