一种8寸立式炉用双层套管式气体喷射管，包括接头和基部连接在接头上的气体喷射管，在气体喷射管的外周套设有防护管，防护管内侧与气体喷射管外侧间隙配合，防护管的基部与接头连接。本发明专利技术用于大幅度延长气体喷射管的使用寿命。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及贵抛光片加工，具体的说是一种8寸立式炉用双层套管式气体喷射管。
技术介绍
1、立式炉炉管内部的石英材质的气体喷射管目前使用的通常为石英材质的单层通透管，硅烷在高温条件下由气体喷射管喷出，反应生成硅单质。上述工艺进行中，气体喷射管内表面和外表面均容易附着一层硅单质膜，一方面在气体喷射管内表面和外表面产生应力，因应力无方向性的特点，导致石英管的管壁受到来自内外侧的压力；另一方面，因硅单质和石英管材质不同，膨胀系数不同，导致二者随立式炉中的升温、降温过程中热胀冷缩过程中产生的膨胀/收缩量不同，导致石英管的管壁在热胀冷缩过程中受到内外侧的撕扯力。随着反应产生的硅单质膜加厚，气体喷射管受内外压力和撕扯力增加，容易产生断裂现象。断裂后需降温拆炉更换后再进行升温反应，而升降温过程会导致立式炉炉管应力增大，影响立式炉炉管寿命。
2、此外，一些断裂的气体喷射管会倒向侧边相邻气体喷射管并卡在气体喷射管和炉管之间，拆炉时这部分断裂气体喷射管随着邻近的气体喷射管拆除会掉落砸伤操作人员和炉管下方设施，产生安全事故。
>技术实现思路本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种8寸立式炉用双层套管式气体喷射管，包括接头(4)和基部连接在接头(4)上的气体喷射管(2)，其特征在于：在气体喷射管(2)的外周套设有防护管(1)，防护管(1)内侧与气体喷射管(2)外侧间隙配合，防护管(1)的基部与接头(4)连接。
2.如权利要求1所述的一种8寸立式炉用双层套管式气体喷射管，其特征在于：防护管(1)内侧与气体喷射管(2)外侧的间隙不大于0.5mm。
3.如权利要求1所述的一种8寸立式炉用双层套管式气体喷射管，其特征在于：防护管(1)的基部为扩口段(3)，扩口段(3)嵌套于接头(4)上。
4.如权利要求1所述的一种8寸立式炉用双...
【技术特征摘要】
1.一种8寸立式炉用双层套管式气体喷射管，包括接头(4)和基部连接在接头(4)上的气体喷射管(2)，其特征在于：在气体喷射管(2)的外周套设有防护管(1)，防护管(1)内侧与气体喷射管(2)外侧间隙配合，防护管(1)的基部与接头(4)连接。
2.如权利要求1所述的一种8寸立式炉用双层套管式气体喷射管，其特征在于：防护管(1)内侧与气体喷射管(2)外侧的间隙不大于0.5mm。
3.如权利要求1所述的一种8寸立式炉用双层套管式气体喷射管，其特征在于：防护管(1)的基部为扩口段(3)，扩口段(3)嵌套于接头(4)上。
4.如权利要求1所述的一种8寸立式炉用双层套管式气体喷射管，其特征在于：气体喷射管(2)和防护管(1)的材质均为石英。
5.如权利要求1所述的一种8寸立式炉用双层套管式气体喷射管，其特征在于：气体喷射管(...
【专利技术属性】
技术研发人员：乔光辉，李建刚，司鹏辉，孙东辉，张天鹏，刘建锋，李梦愿，马兆硕，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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