【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体，特别是涉及一种扫描电子显微镜图像的图形分组方法与相关产品。
技术介绍
1、在半导体集成电路的制造过程中，会产生大量的扫描电子显微镜(scanningelectron microscope，sem)图像，需要对这些sem图像进行分析，从而对制造环节中的各工艺进行判断与评估。在各种sem图像分析方法中，对sem图像中的图形进行轮廓提取并对轮廓进行分析在缺陷检测、关键尺寸量测及光学邻近效应校正(optical proximitycorrection，opc)的仿真与建模中被广泛应用。
2、半导体集成电路制造过程中产生的sem图像往往存在较大的图像噪声，导致从sem图像中提取到的轮廓过于粗糙，难以满足部分应用场景的需求。因此，对sem图像轮廓进行平滑以去除图像轮廓中的毛刺和噪声，减少由于光学邻近效应造成的图像错误是很有必要的。
3、在硅片上存在含有大量周期性重复pattern(图案或设计布局)的区域，例如sram(静态随机存储器)区域。这些区域的sem图像表现为由周期性重复的相似图形组成。对sem图...
【技术保护点】
1.一种扫描电子显微镜图像的图形分组方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜图像的图形分组方法，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的扫描电子显微镜图像的图形分组方法，其特征在于，所述的获取每个所述设计图形的哈希值的步骤包括：
4.根据权利要求2所述的扫描电子显微镜图像的图形分组方法，其特征在于，所述的获取每个所述设计图形的哈希值的步骤包括：
5.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜图像的图形分组方法，其特征在于，在所述的按照所述设计图形的特征值对所述图形轮廓进行分组的步骤之前，还包括：
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