【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及准分子激光器测量，尤其涉及一种紫外准分子激光器光束质量测量装置。
技术介绍
1、准分子激光器(excimer laser)是一种高能量、短波长的气体激光器，广泛应用于精密加工、激光束聚焦、医学治疗、材料表面处理等领域。准分子激光器的光束位置与指向测量装置用于确保其激光光束的准确性和稳定性，特别是在这些应用对精度要求极高的情况下，监测和控制光束的位置、指向能量至关重要。
2、现有技术，cn202410942839.0，现有准分子激光器光束位置、指向、能量测量装置无法满足光束的稳定性、高精度的同时测试；而且直接用紫外仪器测试都比较昂贵。
3、因此需要设计出一种紫外准分子激光器光束质量测量装置解决以上问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是，提供一种紫外准分子激光器光束质量测量装置，以克服目前现有技术存在的上述不足。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
3、一种紫外准分子激光器光束质量测量装置，其包括准分子激光器...
【技术保护点】
1.一种紫外准分子激光器光束质量测量装置，其包括准分子激光器，其特征在于：还包括对应着所述准分子激光器发射端设置且将光路一分为二传输的激光分散系统、配合所述激光分散系统设置用来接收一组光路的第一测量系统、以及对应所述激光分散系统设置用来接收第二组光路的第二测量系统，所述激光分散系统包括置于所述准分子激光器发射端的棱镜、设置在所述准分子激光器经过棱镜后折射方向的光楔组合、设置在所述光楔组合一组折射位置的第一透镜组、置于所述第一透镜组折射后位置且置于第一测量系统前的衰减片、设置在所述光楔组合另一组折射位置且置于所述第二测量系统前的折射组件。
2.根据权利要求1...
【技术特征摘要】
1.一种紫外准分子激光器光束质量测量装置，其包括准分子激光器，其特征在于：还包括对应着所述准分子激光器发射端设置且将光路一分为二传输的激光分散系统、配合所述激光分散系统设置用来接收一组光路的第一测量系统、以及对应所述激光分散系统设置用来接收第二组光路的第二测量系统，所述激光分散系统包括置于所述准分子激光器发射端的棱镜、设置在所述准分子激光器经过棱镜后折射方向的光楔组合、设置在所述光楔组合一组折射位置的第一透镜组、置于所述第一透镜组折射后位置且置于第一测量系统前的衰减片、设置在所述光楔组合另一组折射位置且置于所述第二测量系统前的折射组件。
2.根据权利要求1所述的一种紫外准分子激光器光束质量测量装置，其特征在于：所述光楔组合包括第一楔镜和第二楔镜，所述第一楔镜和第二楔镜绕一公共轴心旋转。...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵济宇，施海雷，徐岭，
申请(专利权)人：苏州芯永联半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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