定位治具制造技术

本申请实施例公开了一种定位治具，包括：底座、固定组件、调节组件和定位组件；所述底座上形成有用于放置探针头的放置空间，所述放置空间下方开设有用于容纳上导向板的第一容纳槽；所述定位组件包括至少三个第一定位点和定位框，所述定位框与所述底座连接，所述定位框内开设有用于容纳下导向板的第二容纳槽；所述固定组件包括第一固定结构和第二固定结构；所述调节组件用于对探针头的两条定位侧边施加推力，以使探针头与下导向板发生相对位移。本申请实施例，实现了探针头与下导向板的位置调节，也就实现了上导向板与下导向板的位置调节，能够更加精准的调节两块导向板之间的相对位置。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体测试工具，尤其涉及一种定位治具。

技术介绍

1、半导体芯片在制造的过程中，存在多道测试流程，以保证出货的芯片功能正常，质量过关。其中，cp测试是指在芯片在流片后封装前，芯片在晶圆上处于未切割状态下进行的测试，目的是在封装前完成部分或全部芯片功能的测试，尽早检测出芯片的制造问题，减少芯片流片过程中的制造缺陷带来的封装成本浪费。

2、cp测试需要探针卡作为测试工具，探针卡一面连接到测试机的测试通道，另一面通过探针接触芯片上的测试点，从而实现测试机和待测芯片的电信号连接进行测试。随着芯片制程，封装工艺的演进，芯片测试点的间距越来越小，测试难度随之增加，因此探针尺寸越来越小。探针卡结构中需要有导向板对探针起固定和导向作用，导向板分上板和下板，其加工和装配精度直接影响探针的位置精度和接触性能。随着探针尺寸和测试点之间的间距越来越小，导向板的加工精度和装配精度的要求随之越来越高。

3、现有技术中，上下导向板之间设计有支撑件，导向板通过定位销和定位孔实现与支撑件的定位，但是，销孔定位的误差在20微米以上，无法满足小尺寸和小间距的探本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种定位治具，其特征在于，包括：底座(11)、固定组件、调节组件和定位组件；

2.根据权利要求1所述的定位治具，其特征在于，所述第一固定结构(131)的数量为两个，两个所述第一固定结构(131)分别与对探针头(21)的两条固定侧边相对设置，所述第一固定结构(131)用于对与其对应的探针头(21)的固定侧边施加垂直于该固定侧边的压力。

3.根据权利要求2所述的定位治具，其特征在于，所述第一固定结构(131)对探针头(21)的固定侧边施加的压力方向经过至少三个所述第一定位点(121)围绕的范围内。

4.根据权利要求1所述的定位治具，其特征在于，至少两个...

【技术特征摘要】

1.一种定位治具，其特征在于，包括：底座(11)、固定组件、调节组件和定位组件；

2.根据权利要求1所述的定位治具，其特征在于，所述第一固定结构(131)的数量为两个，两个所述第一固定结构(131)分别与对探针头(21)的两条固定侧边相对设置，所述第一固定结构(131)用于对与其对应的探针头(21)的固定侧边施加垂直于该固定侧边的压力。

3.根据权利要求2所述的定位治具，其特征在于，所述第一固定结构(131)对探针头(21)的固定侧边施加的压力方向经过至少三个所述第一定位点(121)围绕的范围内。

4.根据权利要求1所述的定位治具，其特征在于，至少两个所述第一定位点(121)分别设置在探针头(21)的两条定位侧边上，并且位于远离探针头(21)的两条定位侧边连接处的位置。

5.根据权利要求1所述的定位治具，其特征在于，所述第一固定结构(131)上设有锁止结构，以锁定用于支撑固定侧边的端部。

6.根据权利要求1所述的定位治具，其特征在于，所述定位框(122)的底部具有与探针头(21)的底面贴合设置的限位面，和/或，所述底座(11)的顶部具有与探针头(21)的顶面贴合设置的限位面。

...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘长江，高全行，王景峰，闫立民，
申请(专利权)人：美博科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：