一种针卡用调整治具制造技术

本申请实施例公开了一种针卡用调整治具。其中，治具包括承载板、调节组件和转动组件。通过本申请实施例，在调整针卡的上导板和下导板时，首先将针卡放置在承载板上，再通过调节组件分别抵接在上导板和下导板的周侧，实现对上导板和下导板的分别约束；再将治具放置于高倍显微镜下，并通过转动组件来转动承载板，从而带动针卡旋转，使得针卡的边界线与高倍显微镜所用参照系的坐标线重合，以便后续对上导板或下导板的移动；接着通过调节组件来动导板和下导板中的一者，使得上导板和下导板中的一者，沿其自身所在水平面相对于另一者移动，从而精准控制上导板和下导板对应孔位的相对偏移量，提高了调整精度和效率，并大幅降低了损坏探针的概率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及针卡组装，尤其涉及一种针卡用调整治具。

技术介绍

1、在半导体测试领域，随着芯片集成度的提高，测试pad（焊盘）的pitch（间距）不断缩小，其对探针卡的精度要求日益严格。为了提升探针卡的精度，一般会使用高精度的测试针，如mf60，它是一种高精度微间距测试探针，其直径较细（针尖直径在12μm左右），并带有一定弧度，以确保在小pitch测试时仍能保持良好的接触性能和耐久性。

2、探针卡包括上导板和下导板，上导板和下导板上分别设有一定数量的孔。在组装探针卡时，部分厂商会使用真空吸附台来吸附固定下导板和上导板，并通过气泵来控制真空吸附台的工作状态，如在需要调整上导板时，通过向真空吸附台内通入气体，从而使得真空吸附台暂时不吸附上导板，然后通过手动移动上导板，并借用高倍显微镜来调整上导板与下导板对应孔位的相对偏移量，从而来控制探针的弧度、接触角度并固定探针。然而目前的手动调整方式不仅精度和效率低，同时还容易损坏探针。

技术实现思路

1、本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种针卡用调整治具，其特征在于，所述治具包括：

2.根据权利要求1所述的针卡用调整治具，其特征在于，所述调节组件(2)包括：

3.根据权利要求2所述的针卡用调整治具，其特征在于，所述限位结构(21)包括至少一个与所述承载板(1)转动连接的限位件(211)，所述限位件(211)上弹性设有至少一个上顶针(212)和/或下顶针(213)，所述上顶针(212)用于抵接所述上导板，所述下顶针(213)用于抵接所述下导板。

4.根据权利要求3所述的针卡用调整治具，其特征在于，所述限位结构(21)还包括至少一个与所述承载板(1)转动连接的施压件(214)，每个所...

【技术特征摘要】

1.一种针卡用调整治具，其特征在于，所述治具包括：

2.根据权利要求1所述的针卡用调整治具，其特征在于，所述调节组件(2)包括：

3.根据权利要求2所述的针卡用调整治具，其特征在于，所述限位结构(21)包括至少一个与所述承载板(1)转动连接的限位件(211)，所述限位件(211)上弹性设有至少一个上顶针(212)和/或下顶针(213)，所述上顶针(212)用于抵接所述上导板，所述下顶针(213)用于抵接所述下导板。

4.根据权利要求3所述的针卡用调整治具，其特征在于，所述限位结构(21)还包括至少一个与所述承载板(1)转动连接的施压件(214)，每个所述施压件(214)仅对应一个所述限位件(211)，每个所述施压件(214)均设有凸起(215)；

5.根据权利要求1所述的针卡用调整治具，其特征在于，所述调整结构(22)包括至少一个调整件(221)，所述调整件(221)包括设于所述承载板(1)上的基座(222)和与所述基座(222)螺纹连接的调整杆(223)，所述调整杆(223)具有用于抵接所述上导板或下导板的抵接端(22...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔德营，王景峰，闫立民，孟祥伟，
申请(专利权)人：美博科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：