【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆加工，尤其是涉及一种圆形灯管晶圆加热器。此外，本申请还涉及一种晶圆退火炉系统和一种晶圆退火炉系统的温度控制方法。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，是由硅晶棒经过研磨、抛光、切片后形成的硅晶圆片，是制造集成电路等半导体元器件的基础材料，在当今的信息化社会中具有极其重要的地位。
2、在半导体加工工艺中，作为快速热处理工艺，需要多次对晶圆进行加热和退火。如金属沉积后的金属退火、注入工艺后的晶化和用于制备热氧化膜的快速热氧化(rto)等等。在对晶圆进行加热和退火时，需要保证晶圆不同位置温度的均匀性，以保证晶圆结构均匀性和晶圆表面膜层厚度的均匀性。
3、现有的晶圆退火炉系统中，通常使用圆盘形加热器对晶圆进行加热，为了保证圆盘加热器不同区域加热的均匀性，通常在圆盘加热器的不同区域设置多个加热元件，同时在炉腔内的不同位置设置多个温度传感器，根据多个温度传感器检测到的温度的差异调节不同加热元件的加热功率，来保证不同晶圆不同位置加热温度的一致性。但对晶圆进行加热的温度均匀性要求较高，通常需要在晶圆...
【技术保护点】
1.一种圆形灯管晶圆加热器，其特征在于，包括加热器座（1）、加热灯管（2）、高温计（3）和灯管功率分配器（4），所述加热灯管（2）设置有多个，多个所述加热灯管（2）在所述加热器座（1）上排列成多个相互同心的圆形，所述高温计（3）对应于所述加热灯管（2）设置区域的中部设置，所述灯管功率分配器（4）包括温度控制单元（41）和多个功率控制元件（42），多个所述加热灯管（2）分别与多个功率控制元件（42）电连接，所述温度控制单元（41）与所述高温计（3）和多个所述功率控制元件（42）电连接，以能够根据所述高温计（3）的检测结果分别控制每个所述加热灯管（2）的加热功率。
...【技术特征摘要】
1.一种圆形灯管晶圆加热器，其特征在于，包括加热器座（1）、加热灯管（2）、高温计（3）和灯管功率分配器（4），所述加热灯管（2）设置有多个，多个所述加热灯管（2）在所述加热器座（1）上排列成多个相互同心的圆形，所述高温计（3）对应于所述加热灯管（2）设置区域的中部设置，所述灯管功率分配器（4）包括温度控制单元（41）和多个功率控制元件（42），多个所述加热灯管（2）分别与多个功率控制元件（42）电连接，所述温度控制单元（41）与所述高温计（3）和多个所述功率控制元件（42）电连接，以能够根据所述高温计（3）的检测结果分别控制每个所述加热灯管（2）的加热功率。
2.根据权利要求1所述的圆形灯管晶圆加热器，其特征在于，在所述加热灯管（2）与所述加热器座（1）之间设置有金属反射器（5）。
3.根据权利要求2所述的圆形灯管晶圆加热器，其特征在于，在所述加热器座（1）与所述金属反射器（5）之间设置有冷却水循环单元（11），所述加热器座（1）上设置有冷却水温度传感器（12），所述冷却水循环单元和冷却水温度传感器（12）均与所述温度控制单元（41）电连接。
4.根据权利要求1所述的圆形灯管晶圆加热器，其特征在于，所述高温计（3）设置在待加工的晶圆（7）远离所述加热灯管（2）的一侧，在所述晶圆（7）与所述高温计（3）之间设置有聚焦透镜（31），所述聚焦透镜（31）的焦点位于所述高温计（3）的感温元件区域。
5.根据权利要求1所述的圆形灯管晶圆加热器，其特征在于，所述加热灯管（2）的数量与所述功率控制元件（42）的数量相同，每个所述加热灯管（2）与一个不同的所述功率控制元件（42）一一对应连接。
6.根据权利要求5所述的圆形灯管晶圆加热器，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：成鲁荣，李宰卿，崔令铉，
申请(专利权)人：扬州提迈电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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