【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电磁阀，尤其涉及一种高频高压电磁阀。
技术介绍
1、电磁阀是一种利用电磁力来控制气体、液体等流体流动的自动化控制元件，在芯片封装设备上，需要将高压氮气介质通入工作腔中形成小流量的高压气，需要使用高频开关电磁阀来补偿工作腔高压氮气损失引起的压力降低。
2、相关技术中，通常使用先导式电磁阀，动铁芯首先动作，将先导气通入工作腔中，在压力平衡后再将阀嘴打开实现大流量通气，形成两次分步动作，导致运动行程大，切换频次较低，导致响应时间较长，难以满足快速精确控制工作腔压力的目的，且由于在通断电时需要将动铁芯和电磁阀先后打开，动铁芯与隔磁管之间产生直接摩擦，摩擦面积也较大，影响产品使用性能和使用寿命。
3、公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在加深对本技术总体
技术介绍
的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成本领域技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是：提供一种高频高压电磁阀，快速精确控制工作腔压力，保证电磁阀使用性能和使用寿命。<...
【技术保护点】
1.一种高频高压电磁阀，其特征在于，包括：阀体(1)、导磁外壳(2)、阀嘴(3)、隔磁管(4)、静铁芯(5)和动铁芯(6)，所述导磁外壳(2)与所述阀体(1)相互垂直连接，所述导磁外壳(2)内部设置有线圈(2a)，且所述隔磁管(4)设置于所述导磁外壳(2)中部，且一端与所述阀体(1)连接；
2.根据权利要求1所述的高频高压电磁阀，其特征在于，所述阀嘴(3)中部设置有贯通的流量口(3a)，所述动铁芯(6)朝向所述阀嘴(3)的端面上设置有第一密封垫(6a)，所述第一密封垫(6a)与所述流量口(3a)的端部抵接设置。
3.根据权利要求2所述的高频高压...
【技术特征摘要】
1.一种高频高压电磁阀，其特征在于，包括：阀体(1)、导磁外壳(2)、阀嘴(3)、隔磁管(4)、静铁芯(5)和动铁芯(6)，所述导磁外壳(2)与所述阀体(1)相互垂直连接，所述导磁外壳(2)内部设置有线圈(2a)，且所述隔磁管(4)设置于所述导磁外壳(2)中部，且一端与所述阀体(1)连接；
2.根据权利要求1所述的高频高压电磁阀，其特征在于，所述阀嘴(3)中部设置有贯通的流量口(3a)，所述动铁芯(6)朝向所述阀嘴(3)的端面上设置有第一密封垫(6a)，所述第一密封垫(6a)与所述流量口(3a)的端部抵接设置。
3.根据权利要求2所述的高频高压电磁阀，其特征在于，所述阀体(1)相对设置的两侧分别设置有进气口(1a)和出气口(1b)，所述出气口(1b)与所述流量口(3a)背离所述第一密封垫(6a)的一端对接设置，所述阀嘴(3)背离所述动铁芯(6)的一端套设有第二密封垫(3b)，所述第二密封垫(3b)与所述进气口(1a)相对设置。
4.根据权利要求3所述的高频高压电磁阀，其特征在于，所述阀嘴(3)背离所述第二密封垫(3b)的端面上设置有挡板(8)，所述隔磁布(7)端部延伸，抵接设置于所述挡板(8)背离所述阀嘴(3)的端面上。
5.根据权利要求2所述的高频高压电磁阀，其特征在于，所述动铁芯(6)包括第一分部(61)和第二分部(62)，所述第一分部(61)与所述阀嘴(3)抵接设置，所述第一分部(61)中空设置有滑动腔(61a)，所述第二分部(62...
【专利技术属性】
技术研发人员：马骏驰，明明，刘华玲，邱捷，申铁柱，
申请(专利权)人：常州恒立气动科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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