用于微小特征结构的三维AOI检测设备制造技术

本发明专利技术公开了用于微小特征结构的三维AOI检测设备，涉及产品检测技术领域。本发明专利技术包括：用于支撑整个检测设备的基座；组装式移动平台，包括X轴直线导轨、适配安装于X轴直线导轨上部的Y轴直线导轨、固定于Y轴直线导轨上部的吸附组件，以及位于吸附组件上方的Z轴直线导轨；机罩，其内部横向固定有安装架；光源模块，包括波长可调的光源本体，以及用于光源本体角度调整的驱动马达；图像识别相机，配备有放大镜组；控制单元，包括主控制器和多个从属控制器。本发明专利技术通过设置波长可调的光源模块，适应不同样品和检测需求，配备有多种放大倍率透镜组的图像识别相机，提高检测的分辨率和灵敏度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于产品检测，特别是涉及用于微小特征结构的三维aoi检测设备。

技术介绍

1、随着现代工业技术的发展，特别是电子、半导体、精密制造等行业对产品质量的要求越来越高，对产品表面微小特征结构的检测成为了一个重要的环节。传统的检测方法，如人工目视检查和接触式测量，已经难以满足高精度、高效率和非破坏性的检测需求。

2、依赖于操作人员的经验和技术水平，容易受到主观因素的影响，检测结果不稳定，且效率低下，无法满足大规模生产的需求；接触式测量虽然可以提供较高的测量精度，但接触式的测量方式可能会对被测样品造成损伤，尤其是对于一些非常脆弱或敏感的材料，这种方法并不适用；早期的光学检测设备通常只能提供二维图像，难以全面反映样品的三维特征，且检测精度有限，不能满足高精度检测的要求。

3、为此，我们提供了用于微小特征结构的三维aoi检测设备，用以解决上述中的问题。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本专利技术是通过以下技术方案实现的：

2、本专利技术为用于微小特征结构的三维aoi检测设本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.用于微小特征结构的三维AOI检测设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于微小特征结构的三维AOI检测设备，其特征在于，所述吸附组件(203)包括固定于Y轴直线导轨(202)移动端的吸盘(203a)，所述吸盘(203a)凹陷面均布有若干微小吸孔，且所述吸盘(203a)配备有真空吸泵(203b)。

3.根据权利要求1所述的用于微小特征结构的三维AOI检测设备，其特征在于，所述机罩(300)包括边框(302)，以及嵌入安装于边框(302)之间的机板(303)，所述机罩(300)顶部安装有机顶(700)，所述机顶(700)周侧设置有散热槽(701)。...

【技术特征摘要】

1.用于微小特征结构的三维aoi检测设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于微小特征结构的三维aoi检测设备，其特征在于，所述吸附组件(203)包括固定于y轴直线导轨(202)移动端的吸盘(203a)，所述吸盘(203a)凹陷面均布有若干微小吸孔，且所述吸盘(203a)配备有真空吸泵(203b)。

3.根据权利要求1所述的用于微小特征结构的三维aoi检测设备，其特征在于，所述机罩(300)包括边框(302)，以及嵌入安装于边框(302)之间的机板(303)，所述机罩(300)顶部安装有机顶(700)，所述机顶(700)周侧设置有散热槽(701)。

4.根据权利要求3所述的用于微小特征结构的三维aoi检测设备，其特征在于，位于正面的所述机板(303)设置有机门(304)，所述机门(304)上部嵌入安装有显示模组(304a)，且所述机门(304)下部设置有控制面板(304b)。

5.根据权利要求4所述的用于微小特征结构的三维aoi检测设备，其特征在于，所述显示模组(304a)连接有数据处理模组(800)，其所述数据处理模组(800)包括图像处理器(801)和数据分析器(802)，所述数据处理模组(800)经竖板(900)固定于基座(100)上部。

6.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：殷濛濛，
申请(专利权)人：深圳市伟智半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：